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プラズマの異常加熱された電子を利用したSiOx薄膜作成とバリアフィルムへの応用

プラズマの異常加熱された電子を利用したSiOx薄膜作成とバリアフィルムへの応用
Paper図書
稲垣訓宏, 静岡大学 [著][稲垣訓宏]2005-2006<Y151-H17350106>
National Diet Library
  • Subject Heading酸素ガスバリアー / 水蒸気ガスバリアー / ポリエチレンナフタレート / パルスプラズマ / SiOx / プラズマポリマー

量子化材料ネオシリコンの開発と単電子デバイス応用

量子化材料ネオシリコンの開発と単電子デバイス応用
Paper図書
小田, 俊理, 東京工業大学1999-2001<Y151-H11355014>
National Diet Library
  • Subject Headingナノ結晶シリコン パルスプラズマプロセス シリコン表面 微細加工プロセス 単電子トンネル 量...

高電圧・極短パルスプラズマによるCVD表面反応の能動的制御

高電圧・極短パルスプラズマによるCVD表面反応の能動的制御
Paper図書
岡崎, 健, 東京工業大学1992-1993<Y151-H04452147>
National Diet Library
  • Subject HeadingプラズマCVD ラジカル反応 パルスプラズマ 反応制御 ダイヤモンド 核発生 表面反応

高真空プロセス用の高密度プラズマパルスの発生とそれを用いた表面過程の解明

高真空プロセス用の高密度プラズマパルスの発生とそれを用いた表面過程の解明
Paper図書
尾笹, 一成, 理化学研究所1994-1995<Y151-H06452225>
National Diet Library
  • Subject Headingプラズマ ガスパルスプラズマ プラズマパルス 水素プラズマ ヘリウムプラズマ イオン電流...

磁場・パルスプラズマ援用化学気相成長法による環境セル型透過電子顕微鏡用隔膜の開発

磁場・パルスプラズマ援用化学気相成長法による環境セル型透過電子顕微鏡用隔膜の開発
Digital文書・図像類
松谷, 貴臣, 川﨑, 忠寛近畿大学2017科学研究費助成事業研究成果報告書 (2016)p.1-6
Other Libraries in Japan
  • Summary, etc....目し、その作製手法として磁場・パルスプラズマ援用化学気相成長法（MPECVD）を開発した。a-SiCN隔...
  • Subject Heading環境セル 隔膜 磁場 パルスプラズマ 化学気相成長法 窒化物薄膜 アモルファス 雰囲気内顕微 鏡...

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