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- Subject Headingフオトレジスト剥離 気液混合 プラズマアツシング
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- Subject Heading光架橋 / 感光性高分子 / 熱分解 / 再溶解 / エポキシ / 光酸発生剤 / フォトレジスト
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- Subject Heading146nm光 フオトレジスト 光酸発生剤 光塩基発生剤 表面修飾レジスト 真空紫外光
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- Subject Heading感光性 フオトレジスト 芳香族ポリイミド 直接重縮合法 アセタール 光酸発生剤 吸...
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- Subject Heading走査型近接場光学顕微鏡 エバネセント場 Tiサフアイアレーザー 微小共振球 極微小突起 フオトレジスト WGMモード HeCdレーザー
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- Subject Headingフオトレジスト 感光性高分子 表面修飾 光酸発生剤 表面イメージング
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- Subject Heading原子間力顕微鏡 光リソグラフイー フオトレジストパターン 接着力 有限要素法 摩擦力 凝集破壊 フアンデルワ...
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- Subject Headingチミン光二量体 電子線 リソグラフイ フオトレジスト 光酸発生剤 化学幅増型レジスト ポリカーボネート Deep...
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- Subject Heading体積位相ホログラム 表面レリーフホログラム 感光性高分子 光重合型フオトポリマー 化学増幅型フオトレジスト スクワリリウム色素 ヘリウムネオンレーザー記録
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- Subject Heading光開始 アシルオキシイミノ基 O アクリロイルアセトフエノンオキシム アミノ基 ポジ・ネガ両用フオトレジスト O メタクリロイルアセトフエノンオキシム 主鎖切断 加速的...
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- Toc / Article... 位相シフトプロセス 第2章 フォトレジスト材料の技術革新の歴史 2 技術......ト 11 まとめ 【第II編 フォトレジスト材料の開発】 第1章 新規レジ......塩基増殖反応を利用した超高感度フォトレジスト材料 2 酸増殖レジスト 2.......ト技術の現状と今後の展望 2 フォトレジスト材料の変遷 3 EUVレジスト......タルレジスト) 【第III編 フォトレジスト特性の最適化と周辺技術】 第1......価 2.4 おわりに 第4章 フォトレジストの除去特性(ドライ除去) 1 ......ニズム 2.4 結論 第5章 フォトレジストの除去特性(湿式除去) 2 現......7 膜表面残留物比較 第6章 フォトレジストプロセスに起因した欠陥 2 レ......【第V編 応用展開】 第1章 フォトレジストを用いた電気めっき法による微細金属構造の創製 1 諸言 2 ...
- Summary, etc.フォトレジスト材料および露光技術の特長を最大限に発揮させるためのレジストプ...
- Subject Headingフォトレジスト/リソグラフィープロセス/g・i線/KrF/ArF/EUV/...
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