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プラズマプロセシングによるカーボン材料の高機能化とその工業的利用に関する研究

プラズマプロセシングによるカーボン材料の高機能化とその工業的利用に関する研究
Paper図書
堀田, 紀好, 福井大学1995-1996<Y151-H07650780>
National Diet Library
  • Subject Headingプラズマプロセシング カーボン材料 酸素電極 表面改質

3次元希薄プラズマ流解析ソフトの開発と実証

3次元希薄プラズマ流解析ソフトの開発と実証
Paper図書
南部, 健一, 東北大学1995-1997<Y151-H07555059>
National Diet Library
  • Subject Heading希薄気体流 高周波放電プラズマ プラズマプロセシング PIC法 直流放電プラズマ モンテカルロ法 フルゴンプラズ...

ACプラズマアシストCVDによるSi基板上へのSiC結晶成長の低温化と大面積化

ACプラズマアシストCVDによるSi基板上へのSiC結晶成長の低温化と大面積化
Paper図書
清水, 秀己, 愛知教育大学1994-1995<Y151-H06650015>
National Diet Library
  • Subject HeadingプラズマアシストCVD 3C-SiC ヘテロエピタキシヤル 低温化 大面積化 プラズマプロセシング プラズマ発光分光分析 プラズマ温度

プラズマプロセシング用SiH4のラジカル非発光種に関する研究

プラズマプロセシング用SiH4のラジカル非発光種に関する研究
Paper図書
後藤, 俊夫, 名古屋大学1985-1986<Y151-S60460120>
National Diet Library
  • Subject Headingプラズマプロセシング SiH4 ラジカル非発光種 電子衝突 発光断面積 生成断面...

構造と機能の相関性に関する反応工学的研究

構造と機能の相関性に関する反応工学的研究
Paper図書
明畠, 高司, 東京工業大学1985-1986<Y151-S60470117>
National Diet Library
  • Subject Heading分子設計 蒸留 熱プラズマプロセシング 界面活性物質 微生物生合成 反応工学 触媒作用 高分子ヒド...

異周波のハイブリツド結合による大容量,大口径誘導熱プラズマの発生

異周波のハイブリツド結合による大容量,大口径誘導熱プラズマの発生
Paper図書
作田, 忠裕, 金沢大学1994-1995<Y151-H06650322>
National Diet Library

低周波誘導熱プラズマ炉の試作と巨大クラスター生成への応用

低周波誘導熱プラズマ炉の試作と巨大クラスター生成への応用
Paper図書
作田, 忠裕, 金沢大学1996-1998<Y151-H08555067>
National Diet Library

異周波のハイブリッド結合による大容量,大口径誘導熱プラズマの発生

異周波のハイブリッド結合による大容量,大口径誘導熱プラズマの発生
Digital文書・図像類
作田, 忠裕, Sakuta, Tadahiro1997-03-03平成7(1995)年度 科学研究費補助金 一般研究(C) 研究成果報告書概要 = 1995 Fiscal Year Final Research Report Summary1994 – 1995p.2p.-
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  • Note (General)...であることが判明し、高速、均一プラズマプロセシングに利用できることがわかった。 The inductively...

低周波誘導熱プラズマ炉の試作と巨大クラスター生成への応用

低周波誘導熱プラズマ炉の試作と巨大クラスター生成への応用
Digital文書・図像類
作田, 忠裕, Sakuta, Tadahiro1999-12-07平成10(1998)年度 科学研究費補助金 基盤研究(A) 研究成果報告書概要 = 1998 Fiscal Year Final Research Report Summary1996 – 1998p.2p.-
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