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誘導結合フロロカーボンプラズマの特性の理論的研究

Paper図書

南部健一, 東北大学 [著][南部健一]2002-2003<Y151-H14350088>

National Diet Library

Subject Headingプロセスプラズマ / 数値解析 / 粒子モデル / 誘導結合プラズマ

非平衡RFプラズマ空間中に浮遊する微粒子の動力学的挙動の解析

Paper図書

島田学, 広島大学 [著][島田学]2003-2005<Y151-H15360413>

National Diet Library

Subject Headingプラズマダスト / プロセスプラズマ / 低温プラズマCVD / エアロゾル / 凝集成長 / ...

衝突輻射モデルに基づく、非平衡プラズマの電子エネルギー分布関数の分光計測

Paper図書

赤塚洋, 東京工業大学 [著][赤塚洋]2004-2005<Y151-H16540446>

National Diet Library

Subject Heading衝突輻射モデル / 電子エネルギー分布関数 / 分光計測 / 希ガスプラズマ / アルゴンプラズマ / 2温度分布 / 高エネルギーテール / プロセスプラズマ

磁気中性点を利用した新方式のラジカル中性粒子源

Paper図書

安藤, 晃, 東北大学1997-1998<Y151-H09558053>

National Diet Library

Subject Headingプロセスプラズマラジカル中性粒子四重極磁場磁気中性点

真空紫外レ-ザ分光法によるプロセスプラズマ中の原子状ラジカルの気相・表面反応診断

Paper図書

橘, 邦英, 京都大学2001-2002<Y151-H13480126>

National Diet Library

Subject Heading原子状ラジカル真空紫外レ-ザ吸収分光法プロセスプラズマ誘導結合プラズマ炭素原子酸素原子絶対密度測定

新タイプ磁気中性線放電(NLD)プラズマ生成法を用いた新しいスパッタ装置の開発

Paper図書

本田親久, 宮崎大学 [著][本田親久]2002-2003<Y151-H14550269>

National Diet Library

Subject Heading磁気中性線放電プラズマ / NLDプラズマ / プロセスプラズマ / スパッタリング / 容量結合型プラズマ / プラズマ局...

プロセスプラズマ計測用赤外域レーザートムソン散乱システムの開発

Paper図書

内野, 喜一郎, 九州大学1998-1999<Y151-H10680462>

National Diet Library

Subject Headingプロセスプラズマレーザー計測トムソン散乱赤外光電子密度電子温度反...

高機能インバータープラズマの技術開発と金属表面の低摩擦化研究

Paper図書

後藤, 誠一, 大阪大学1999-2000<Y151-H11558053>

National Diet Library

Subject Heading表面処理技術プロセスプラズマ低摩擦膜インバーターダイヤモンド薄膜トライボロジー ...

格子状微粒子渦流の駆動とその動的特性

Paper図書

飯塚, 哲, 東北大学1999-2000<Y151-H11480105>

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Subject Heading微粒子プラズマクーロン格子微粒子渦流電位駆動渦流速度シアプロセスプラズマ微粒子除去微粒子集団運動

低周波重畳による高周波誘導熱プラズマの高温反応場の広域化に関する研究

Paper図書

作田, 忠裕, 金沢大学1991-1992<Y151-H03650226>

National Diet Library

Subject Heading誘導プラズマ熱プラズマ低周波大電流プラズマ拡大化プロセス・プラズマ高温・高反応性

非線形媒質としてのプラズマの総合的研究

Paper図書

河合, 良信, 九州大学1991-1992<Y151-H03302056>

National Diet Library

Subject Heading渦カオス微粒子プラズマ負イオンプラズマイオンシースレーリーテーラー不安定性プロセスプラズマホールソリトン

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