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ヘリコン波励起プラズマスパッタ法による酸化物半導体・誘電体エレクトロニクスの展開

Paper図書

秩父重英, 筑波大学 [著][秩父重英]2004-2006<Y151-H16360146>

National Diet Library

Subject Headingヘリコン波励起プラズマ / 酸化亜鉛 / 誘電体酸化物 / 透明導電膜...

超硬質窒化物合成のための高密度ヘリコン波プラズマ励起・超活性化成膜プロセスの開発

Paper図書

節原, 裕一, 大阪大学1998-1999<Y151-H10558065>

National Diet Library

Subject Headingヘリコン波プラズマ活性化反応場反応性高密度プラズマ超硬質窒化物

ヘリコン波プラズマ源を使用した球状トカマク燃料入射器の試作

Paper図書

遠山, 濶志, 東京大学1997-1998<Y151-H09558062>

National Diet Library

Subject Headingヘリコン波プラズマ源球状トカマク高密度内部アンテナ入射器高...

高密度プラズマPVDによる次世代超硬質薄膜合成

Paper図書

三宅, 正司, 大阪大学1997-1999<Y151-H09480091>

National Diet Library

Subject Heading高密度プラズマ PVD 超硬質薄膜薄膜合成ヘリコン波真空アーク窒化炭素薄膜カーボン薄膜

トーラス磁場を用いた高密度ヘリコン波プラズマの生成に関する研究

Paper図書

森本茂行, 金沢工業大学 [著][森本茂行]2001-2003<Y151-H13680563>

National Diet Library

Subject Heading高周波加熱プラズマ / ヘリコン波プラズマ / トーラス磁場 / ヘリカル磁場 / ヘリオトロ...

生体適合圧電材料創製のための原子・結晶構造設計手法およびスパッタ成膜法の開発

Paper図書

仲町英治, 大阪工業大学 [著][仲町英治]2002-2003<Y151-H14350062>

National Diet Library

Subject Heading生体適合性 / 3元素アクチュエータ素材 / 原子・結晶構造解析 / ヘリコン波スパッタ成膜 / 圧電材料 / ペロブスカイト結晶構造 / ...

ヘリコン波放電型酸素・フツ素負イオン源の開発

Paper図書

門田, 清, 名古屋大学1995-1997<Y151-H07558178>

National Diet Library

Subject Heading負イオン酸素フツ素ヘリコン波放電飛行時間型質量分析法静電プローブレーザー光脱離法 ...

可視分光によるプラズマ中の水素負イオン及び正・負イオン相互中性化過程の測定

Paper図書

門田, 清, 名古屋大学1998-2000<Y151-H10480107>

National Diet Library

Subject Headingヘリコン波放電高密度水素プラズマ水素負イオン測定相互中性化反応 ...

プラズマプロセス用大面積プラズマの生成

Paper図書

佐藤, 徳芳, 東北大学1995-1995<Y151-H07044308>

National Diet Library

Subject Heading大口径プラズマ均一プラズマ ECRプラズマ RFプラズママグネトロン型プラズマヘリコン波誘導結合プラズマラジカル

RFタンデムミラーの研究

Paper図書

板谷, 良平, 京都大学1987-1989<Y151-S62420051>

National Diet Library

Subject Headingタンデムミラーイオンサイクロトロン加熱ヘリコン波 2種イオン混成共鳴 MHD安定性電位閉じ込め熱障壁

D-3He核融合用イオンビームコライダー実験

Paper図書

毛利, 明博, 京都大学1991-1992<Y151-H03680009>

National Diet Library

Subject HeadingD-Hい核融合イオンビームコライダー直接エネルギー変核プラズマヘリコン波電磁場融合ポテンシヤルプラズマ閉じ込めミラー損失

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