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原子層成長法による超均一・低抵抗ZnO薄膜の開発

Paper図書

山田, 明, 東京工業大学1997-1998<Y151-H09650347>

National Diet Library

Subject Heading原子層成長法 ZnO 太陽電池透明導電膜

GaAsの分子層成長とその不純物添加技術に関する研究

Paper図書

倉林徹, 半導体研究振興会 [著][倉林徹]2001-2003<Y151-H13450016>

National Diet Library

Subject HeadingGaAs / 分子層成長 / 原子層成長 / 自己停止機構 / 反応機構 / 不純物添加

Si/Ge歪み制御原子層超格子の研究

Paper図書

松村, 正清, 東京工業大学1998-2000<Y151-H10305003>

National Diet Library

Subject Heading原子層成長 Si/Ge界面超格子ヘテロ成長最表面組成

メタルゲート/高誘電率金属酸化物ゲート絶縁膜スタック構造の真空一貫原子層成長

Paper図書

中島安理, 広島大学 [著][中島安理]2001-2003<Y151-H13450129>

National Diet Library

Subject Headingメタルゲート / 高誘電率金属酸化物 / ゲート絶縁膜 / スタック構造 / 原子層成長 / 真空一貫 / ジルコニア / ハフニア

極限微細集積回路作製のための原子層成長制御CVD装置の開発研究

Paper図書

室田, 淳一, 東北大学1992-1994<Y151-H04555064>

National Diet Library

Subject Heading原子層成長 CVD 瞬時加熱 SiH4 GeH4 Si 共鳴トンネル

原子位置制御不純物コド-ピングに関する研究

Paper図書

岩井, 荘八, 理化学研究所1999-2001<Y151-H11450016>

National Diet Library

Subject HeadingIII族窒化物半導体 AlGaN Mg-ド-ピングス-パ-ラテイス有機金属気相成長法紫外レ-ザ- 原子位置制御原子層成長法

超活性ガスを用いたIV族半導体の原子層成長に関する研究

Paper図書

松村, 正清, 東京工業大学1992-1993<Y151-H04452171>

National Diet Library

Subject Headingシリコンゲルマニウム原子層成長原子状水素ヘテロ成長

原子層選択成長を利用した超微細トランジスタ作製法の研究

Paper図書

横山, 新, 広島大学1999-2001<Y151-H11450125>

National Diet Library

Subject Headingシリコン選択成長原子層成長自己停止機構塩化水素脱離反応 2インチSiウエハガスフ...

高密度磁気記録用高配向・低ノイズバリウムフエライト薄膜媒体の開発

Paper図書

星, 陽一, 東京工芸大学1995-1996<Y151-H06650374>

National Diet Library

Subject Headingバリウムフエライト磁気記録媒体スパツタリング微粒子化垂直磁気記録原子層成長薄膜

原子層制御エピタキシーによる周期構造変調超格子作製と機能性新物質の創製

Paper図書

岩井, 荘八, 理化学研究所1996-1997<Y151-H08455154>

National Diet Library

Subject Heading原子層成長有機金属気相成長法準結晶 GaAs 原子層超格子 X線回...

シリコン高効率発光デバイスの研究

Paper図書

松村, 正清, 東京工業大学1992-1994<Y151-H04555085>

National Diet Library

Subject Heading発光原子層成長電子構造シリコンゲルマニウム強束縛近似原子状水素 ...

ラングミュア吸着・反応制御プロセスを駆使して製作する4族半導体極微細デバイス

Paper図書

室田淳一, 東北大学1996-1998<Y151-H08405022>

National Diet Library

Subject Headingラングミユア吸着・反応 IV族半導体極微細デバイス原子層成長表面処理原子層エツチング水素終端低温ヘテロエピタキシ...

原子層制御された微細量子構造の作製とその物性評価

Paper図書

岩井, 荘八, 理化学研究所1994-1995<Y151-H06452224>

National Diet Library

Subject Heading原子層成長有機金属気相成長法量子ナノ構造 GaAs 選択成長フオ...

レーザMOVPEによるパターン化結晶成長法の開発とその新光機能素子開発への応用

Paper図書

青柳, 克信, 理化学研究所1986-1987<Y151-S61460071>

National Diet Library

Subject Heading単原子層成長カリウム砒素有機金属アルコンイオンレーザ

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