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反応性イオンエツチングによる基板への三次元微細構造の増幅転写技術の開発

反応性イオンエツチングによる基板への三次元微細構造の増幅転写技術の開発
Paper図書
伊藤, 和男, 群馬大学2001-2002<Y151-H13650368>
National Diet Library
  • Subject Heading反応性イオンエツチング 電子線リソグラフイ 三次元形状 パタ-ン転写

NF3プラズマアシスト反応およびNF3熱化学反応によるSiCのフツ素化

NF3プラズマアシスト反応およびNF3熱化学反応によるSiCのフツ素化
Paper図書
田坂, 明政, 同志社大学1999-2000<Y151-H11650864>
National Diet Library
  • Subject Heading三フツ化窒素 炭化ケイ素 反応性イオンエツチング 平滑化 異方性エツチング

3族窒化物系ナノアンテナ・フォトニック結晶を用いた紫外光制御

3族窒化物系ナノアンテナ・フォトニック結晶を用いた紫外光制御
Paper図書
平松和政, 三重大学 [著][平松和政]2003-2005<Y151-H15360008>
National Diet Library
  • Subject Heading窒化ガリウム / ナノ構造 / 反射防止構造 / フォトニック結晶 / 電子ビームリソグタフィ / 反応性イオンエッチング / 自然形成

CF4/O2混合ガスプラズマ排気系における各種金属および合金の腐食機構

CF4/O2混合ガスプラズマ排気系における各種金属および合金の腐食機構
Paper図書
杉本, 克久, 東北大学1997-1999<Y151-H09450264>
National Diet Library
  • Subject Headingプラズマエツチング 反応性イオンエツチング プラズマ下流域腐食 腐食速度 気相分析

カ-ボンナノチユ-ブを用いた高性能微小電子線源の作製

カ-ボンナノチユ-ブを用いた高性能微小電子線源の作製
Paper図書
川田, 博昭, 大阪府立大学2001-2002<Y151-H13650382>
National Diet Library
  • Subject Headingゲ-ト付き微小電子線源 カ-ボンナノチユ-ブ 低電圧動作 反応性イオンエツチング 垂直配向 選択成長 電界放出特性

光機能性結晶と高分子光導波路とを接合した新規光導波路の作製

光機能性結晶と高分子光導波路とを接合した新規光導波路の作製
Paper図書
戒能俊邦, 東北大学 [著][戒能俊邦]2001-2003<Y151-H13450025>
National Diet Library
  • Subject Headingリフトオフプロセス / 反応性イオンエッチング / フォトプロセス / 有機イオン性色素 / 紫外線硬化エ...

リアルタイム分光エリプソメトリーによる反応性イオンエツチング機構の解析

リアルタイム分光エリプソメトリーによる反応性イオンエツチング機構の解析
Paper図書
杉本, 克久, 東北大学1995-1996<Y151-H07455284>
National Diet Library
  • Subject Heading反応性イオンエツチング リアルタイム分光エリプソメトリー マルチチヤンネル分光エリ...

スーパーマグネトロンプラズマを用いたレジストの高精度・超微細エツチング

スーパーマグネトロンプラズマを用いたレジストの高精度・超微細エツチング
Paper図書
木下, 治久, 静岡大学1991-1992<Y151-H03805025>
National Diet Library
  • Subject Headingマグネトロンプラズマ スーパーマグネトロンプラズマ 半導体プロセス プラズマエツチング 低温エツチング クオータミクロンエツチング プラズマプロセス 反応性イオンエツチング

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