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マイクロ波帯の大面積放電によるジャイアント・プラズマプロセスの創出

マイクロ波帯の大面積放電によるジャイアント・プラズマプロセスの創出
Paper図書
菅井秀郎, 名古屋大学 [著][菅井秀郎]2003-2005<Y151-H15204053>
National Diet Library
  • Subject Headingマイクロ波放電 / 表面波プラズマ / 大面積プラズマ / スロットアンテナ / 太陽電池 / 液晶ディスプレイ ...

高圧力・高密度マイクロ波プラズマ源の開発とその大面積薄膜プロセスへの応用

高圧力・高密度マイクロ波プラズマ源の開発とその大面積薄膜プロセスへの応用
Paper図書
永津雅章, 静岡大学 [著][永津雅章]2002-2003<Y151-H14580516>
National Diet Library
  • Subject Headingマイクロ波プラズマ / 大面積プラズマCVD / カーボン系薄膜 / ダイヤモンド薄膜 / カーボ...

変形マグネトロン型プラズマ源の開発

変形マグネトロン型プラズマ源の開発
Paper図書
佐藤徳芳, 東北大学1996-1998<Y151-H08558043>
National Diet Library
  • Subject Heading大面積プラズマ 均一プラズマ 高周波放電 変形マグネトロン型放電 大口径プ...

大直径ウエハエツチング用円環スロツトアンテナ形マイクロ波プラズマの発生法の開発

大直径ウエハエツチング用円環スロツトアンテナ形マイクロ波プラズマの発生法の開発
Paper図書
藤田, 寛治, 佐賀大学1994-1995<Y151-H06558065>
National Diet Library
  • Subject Heading大面積プラズマ 高密度プラズマ 均一密度プラズマ 円環スロツトアンテナ リ...

表面波プラズマにおけるマイクロ波吸収機構の解明とアンテナ結合系の最適化

表面波プラズマにおけるマイクロ波吸収機構の解明とアンテナ結合系の最適化
Paper図書
永津, 雅章, 名古屋大学1997-1998<Y151-H09680461>
National Diet Library
  • Subject Heading表面波プラズマ 大面積プラズマ マイクロ波プラズマ スロツトアンテナ アンテナープラズマ結...

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