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- Subject Heading低誘電率層間絶縁膜 / 配線 / ワイヤレス / インターコネクト / アンテ...
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- Subject Heading低誘電率材料 層間絶縁膜 酸化シリコンナノポーラス薄膜 ガス中蒸発法 クラスター
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- Subject Heading超伝導トンネル接合 超高真空電子ビーム蒸着 超伝導Nb薄膜 AlOxトンネルバリア SiO2層間絶縁膜
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- Subject Headingアブレイシブジエツト加工 噴射加工 層間絶縁膜 アイスジエツト ばり取り 選択的加工 ビア 洗浄
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- Subject Heading低誘電率層間絶縁膜 高誘電率膜 マイクロ波 プラズマ 半導体 プロセス ラジア...
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- Subject HeadingデジタルCVD ULSI 高機能性薄膜 積層層間絶縁膜 コンフオーマルCVD 低誘電率膜 時間変調プラズマ バイア...
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