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- Subject HeadingLSI SOI 気体分離配線 BPSG 無水HF 銅配線 金属基板
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- Subject Heading銅配線 / プラズマCVD / 異方性成膜 / LSI / 水素原...
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- Subject Heading銅配線 / ルテニウム / プラズマCVD / 異方性製膜 / イ...
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- Subject Heading低誘電率膜 有機膜 多層配線 集積回路 銅配線 ポ-ラス 金属電極 拡散速度
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- Subject Headingメタルゲート電極 高誘電率ゲート絶縁膜 金属基板 コンタクト抵抗 銅配線 SOIMOSEFT 閾値
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- Subject Heading超高速LSI LSI用配線技術 アルミニウム配線 銅配線 スパツタリング 低エネルギイオン照射 エピタキシヤル成長
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