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LSI銅配線層の低比抵抗化に関する研究

LSI銅配線層の低比抵抗化に関する研究
Paper図書
原徹, 法政大学 [著][原徹]2003-2004<Y151-H15560281>
National Diet Library
  • Subject Heading超LSI / 高速化 / 配線層 / 銅配線 / 銅メッキ / 比抵抗

気体分離配線構造を有するTaゲート金属基板SOI超高速超微細LSIの開発

気体分離配線構造を有するTaゲート金属基板SOI超高速超微細LSIの開発
Paper図書
大見, 忠弘, 東北大学2000-2001<Y151-H12305020>
National Diet Library
  • Subject HeadingLSI SOI 気体分離配線 BPSG 無水HF 銅配線 金属基板

LSI内微細銅配線のためのプラズマ異方性CVD

LSI内微細銅配線のためのプラズマ異方性CVD
Paper図書
白谷正治, 九州大学 [著][白谷正治]2002-2003<Y151-H14350021>
National Diet Library
  • Subject Heading銅配線 / プラズマCVD / 異方性成膜 / LSI / 水素原...

ナノ構造の新作製法としてのプラズマ異方性CVD

ナノ構造の新作製法としてのプラズマ異方性CVD
Paper図書
白谷正治, 九州大学 [著][白谷正治]2004-2006<Y151-H16360020>
National Diet Library
  • Subject Heading銅配線 / ルテニウム / プラズマCVD / 異方性製膜 / イ...

ナノポ-ラス/有機構造低誘電率膜と金属電極の界面制御

ナノポ-ラス/有機構造低誘電率膜と金属電極の界面制御
Paper図書
吉川, 公麿, 広島大学1999-2001<Y151-H11450126>
National Diet Library
  • Subject Heading低誘電率膜 有機膜 多層配線 集積回路 銅配線 ポ-ラス 金属電極 拡散速度

金属基板SOI・メタルゲート高誘電率絶縁膜CMOS超高速集積回路の研究

金属基板SOI・メタルゲート高誘電率絶縁膜CMOS超高速集積回路の研究
Paper図書
大見, 忠弘, 東北大学1993-1994<Y151-H05402039>
National Diet Library
  • Subject Headingメタルゲート電極 高誘電率ゲート絶縁膜 金属基板 コンタクト抵抗 銅配線 SOIMOSEFT 閾値

超高速LSI対応配線構造の研究

超高速LSI対応配線構造の研究
Paper図書
大見, 忠弘, 東北大学1987-1988<Y151-S62420031>
National Diet Library
  • Subject Heading超高速LSI LSI用配線技術 アルミニウム配線 銅配線 スパツタリング 低エネルギイオン照射 エピタキシヤル成長

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