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- Subject Heading立体画像表示装置 / 回折・干渉ディスプレイ / 静電アクチュエータ / MEMS
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- Subject HeadingMEMS 微細加工 薄膜 アモルフアス 金属ガラス 静電アクチユエ-タ 情報機 物性
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- Subject Headingシリコン量子細線 / 引張り試験 / 静電アクチュエータ / 走査型プローブナノリソグラフィ
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- Subject Heading原子間力顕微鏡 フオース・フイードバツク 制御 力平衡 生体 静電アクチユエータ 遮断周波数 光フアイバ
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- Subject Headingマイクロロボツト マイクロアクチユエタ 静電アクチユエータ 太陽電池 CMOS
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- Subject Heading光デイスク 浮動スライダ フレキシブル導波路 接触ヘツド 近接型光ヘツド 2段サーボ 静電アクチユエータ トラツキングエラー
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- Subject Headingアクチュエータ / マイクロマシニング / 高密度記録 / ナノマシニング / 走査型プローブ顕微鏡 / 圧電アクチュエータ / 静電アクチュエータ / 電界放出エミッタ
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- Subject Heading三次元マイクロ運動変換機構 高集積 大変形弾性ヒンジ ポリイミド 櫛歯形静電アクチユエータ マイクロマシニニング CVD RIE
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- Subject Headingトンネル電流 マイクロマシーニング 静電アクチユエータ 位置決め 変位測定
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- Subject Headingマイクロマシン 表面マイクロマシーニング 静電アクチユエータ 真空トンネル電流 変位センサ 加速度センサ 原子間力顕微鏡...
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- Subject Headingマイクロロボツト マイクロフアブリケーシヨン IC製造プロセス 静電アクチユエータ 昆虫規範型マイクロロボツト
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- Subject Headingマイクロアクチユエータ フアトフアイブリケーシヨン マイクロマシニング 静電アクチユエータ 立体的微細加工 静電サーボ 能動カテーテル 協調制御
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