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- Subject Heading非晶質シリコン 固相成長 構造緩和 ラマン散乱スペクトル シミユレーシヨン...
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- Subject Heading半導体ヘテロ構造 ワイドギヤツプ・低誘電率 非晶質シリコン酸化物障壁 エピSi/SiO2量子構造 電子・光の閉じ込め ...
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- Subject Heading固相成長 横方向成長 SOI 非晶質シリコン 三次元集積回路 選択ドーピング
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- Subject Heading表面反応計測 ラジカルビーム レーザー誘起蛍光法 シラン系ラジカル 原子状ラジカル 水素化非晶質シリコン シリコン酸化反応速度
Digital博士論文
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- Subject Heading非晶質シリコン 結晶シリコン ヘテロ接合 太陽電池 界面 キャリア輸送