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強誘電体薄膜のグレインバウンダリが電気特性に及ぼす影響の解明とメモリ素子への応用

Paper図書

清水, 勝, 姫路工業大学2000-2001<Y151-H12450131>

National Diet Library

Subject Heading強誘電体PZT薄膜グレインサイズの制御グレインバウンダリ PbTiO3初期核初期成長過程二段階成長法エピタキシヤル単結晶PZT薄膜原子層ステツプ

その場透過電子顕微鏡観察による強誘電体薄膜の劣化ダイナミクスに関する研究

Paper図書

酒井, 朗, 名古屋大学2000-2002<Y151-H12450010>

National Diet Library

Subject Heading透過電子顕微鏡その場観察強誘電体 PZT薄膜電圧ストレス劣化試料ホルダ- 電極

強誘電体ゲートトランジスタの開発に向けての界面の改良と電子的特性評価

Paper図書

丹生, 博彦, 姫路工業大学2000-2001<Y151-H12650348>

National Diet Library

Subject Heading強誘電体ゲートFET MFIS構造 PZT薄膜 Al2O3薄膜 MFS型デバイス強誘電性のAFM観察

強誘電体/半導体(金属)界面の解析・制御とデバイス応用

Paper図書

丹生, 博彦, 姫路工業大学1996-1997<Y151-H08455150>

National Diet Library

Subject HeadingMFSデバイス強誘電体薄膜半導体界面 MOCVD PZT薄膜 Ir電極

強誘電体及び電極薄膜の低温MOCVD成長と超高集積立体構造メモリへの応用

Paper図書

清水, 勝, 姫路工業大学2001-2002<Y151-H13555097>

National Diet Library

テンプレート結晶粒成長による圧電セラミックスPZT厚膜の創製

Paper図書

王占杰, 東北大学 [著][王占杰]2004-2005<Y151-H16560624>

National Diet Library

Subject HeadingPZT薄膜 / ゾル-ゲル法 / レーザーアブレーション / ハイブリ...

圧電検出・駆動型ダイヤモンドマルチプロ-ブを搭載した次世代ナノ加工・計測システム

Paper図書

柴田, 隆行, 茨城大学2001-2002<Y151-H13555068>

National Diet Library

Subject Heading次世代ナノ加工・計測システムナノリソグラフイ- 原子間力顕微鏡 AFMプロ-ブダイヤモンド薄膜 PZT薄膜アクチユエ-タセンサ

ハイブリッドプロセッシングによる圧電セラミックスPZT薄膜の創製

Paper図書

王占杰, 東北大学 [著][王占杰]2002-2003<Y151-H14550695>

National Diet Library

Subject HeadingPZT薄膜 / ゾルーゲル法 / レーザーアブレーション / ハイブリ...

新しいスパツタ堆積モードによる強誘電体(PZT)薄膜の低温形成とその機構解明

Paper図書

佐々木, 公洋, 金沢大学1997-1998<Y151-H09650349>

National Diet Library

Subject Headingスパツタリング PZT薄膜金属モード酸化物モード同位体酸素 ZrTiターゲツト ...

超高密度情報記憶におけるナノメカトロニクスの開発

Paper図書

多川則男, 関西大学 [著][多川則男]2000-2002<Y151-H12450105>

National Diet Library

Subject Heading超高密度情報記憶 / マイクロマシン / ナノメカトロニクス / 複合多層PZT薄膜 / アクティブスライダ / ICP-RIEディープエッチン...

光励起CVD法によるPZT系強誘電体薄膜の作製とメモリデバイスへの応用

Paper図書

塩崎, 忠, 京都大学1992-1993<Y151-H04452176>

National Diet Library

Subject HeadingPZT薄膜光MOCVD オゾンリーク特性絶縁破壊電圧バツフア層...

微小な超音波モータの実現と可能性に関する研究

Paper図書

黒澤, 実, 東京大学1995-1996<Y151-H07455041>

National Diet Library

Subject Heading超音波モータマイクロアクチユエータ弾性表面波 PZT薄膜ニオブ酸リチウムリニアモータ摩擦駆動圧電トランスデユ...

新しいスパッタ堆積モードによる強誘電体(PZT)薄膜の低温形成とその機構解明

Digital文書・図像類

畑, 朋延, Hata, Tomonobu1999-12-07平成10(1998)年度科学研究費補助金基盤研究(C) 研究成果報告書概要 = 1998 Fiscal Year Final Research Report Summary1997 – 1998p.2p.-

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Subject Headingスパッタリング PZT薄膜金属モード酸化物モード同位体酸素 ZrTr ターゲット...
Note (General)...素の起源を調べた.金属モードでPZT薄膜を作製すると,膜中酸素のうち90%はPbOからきた酸素であり...

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