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プラズマプロセスの基礎と先端応用技術 (プラズマエレクトロニクス講習会テキスト ; 第33回)
プラズマプロセスの基礎と先端応用技術 (プラズマエレクトロニクス講習会テキスト ; 第33回)
紙
図書
応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会
2022.11
<MC241-M17>
国立国会図書館
粒子エネルギー制御型新規マグネトロンプラズマ源の開発
粒子エネルギー制御型新規マグネトロンプラズマ源の開発
紙
図書
豊田浩孝, 名古屋大学 [著]
[豊田浩孝]
2006-2007
<Y151-H18540489>
国立国会図書館
著者標目
豊田, 浩孝
名古屋大学
フロロカーボン分子の表面反応過程と新規エッチングプロセスの基礎研究
フロロカーボン分子の表面反応過程と新規エッチングプロセスの基礎研究
紙
図書
豊田浩孝, 名古屋大学 [著]
[豊田浩孝]
2003-2004
<Y151-H15540474>
国立国会図書館
著者標目
豊田, 浩孝
名古屋大学
高密度プラズマを用いた大面積多結晶シリコン薄膜の低温形成
高密度プラズマを用いた大面積多結晶シリコン薄膜の低温形成
紙
図書
豊田, 浩孝
, 名古屋大学
1997-1999
<Y151-H09558055>
国立国会図書館
著者標目
豊田, 浩孝
新しいラジカル計測法によるシラン系プラズマの診断と制御
新しいラジカル計測法によるシラン系プラズマの診断と制御
紙
図書
豊田, 浩孝
, 名古屋大学
1995-1996
<Y151-H07680505>
国立国会図書館
著者標目
豊田, 浩孝
リチウムコーテイングとプラズマ・表面過程の基礎研究
リチウムコーテイングとプラズマ・表面過程の基礎研究
紙
図書
豊田, 浩孝
, 名古屋大学
1993-1994
<Y151-H05680391>
国立国会図書館
著者標目
豊田, 浩孝
粒子エネルギー制御型新規マグネトロンプラズマ源の開発
粒子エネルギー制御型新規マグネトロンプラズマ源の開発
紙
図書
豊田浩孝 [ほか著]
[出版者不明]
2008.3
全国の図書館
著者標目
豊田, 浩孝
フロロカーボン分子の表面反応過程と新規エッチングプロセスの基礎研究
フロロカーボン分子の表面反応過程と新規エッチングプロセスの基礎研究
紙
図書
豊田浩孝 [ほか著]
[出版者不明]
2005.3
全国の図書館
著者標目
豊田, 浩孝
プラズマによる薄膜形成とその応用における水素の制御に関する研究
プラズマによる薄膜形成とその応用における水素の制御に関する研究
紙
デジタル
博士論文
豊田浩孝 [著]
<UT51-63-K74>
インターネットで読める
国立国会図書館
著者標目
豊田, 浩孝
高密度プラズマを用いた大面積多結晶シリコン薄膜の低温形成
高密度プラズマを用いた大面積多結晶シリコン薄膜の低温形成
紙
図書
豊田浩孝 [ほか著]
[出版者不明]
2000.3
全国の図書館
著者標目
豊田, 浩孝
プラズマの基礎と応用最前線 : ULSIからフォトニック,MEMS,ナノチューブ,プラズマイオン注入,環境まで : 第15回プラズマエレクトロニクス講習会
プラズマの基礎と応用最前線 : ULSIからフォトニック,MEMS,ナノチューブ,プラズマイオン注入,環境まで : 第15回プラズマエレクトロニクス講習会
紙
図書
応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会 編
応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会
2004.10
<MC241-H22>
国立国会図書館
リチウム膜による水素の選択排気法の開発
リチウム膜による水素の選択排気法の開発
デジタル
文書・図像類
菅井, 秀郎,
豊田, 浩孝
, 中村, 圭二
1998-03
インターネットで読める
全国の図書館
著者標目
菅井, 秀郎
豊田, 浩孝
中村, 圭二
新しいラジカル計測法によるシラン系プラズマの診断と制御
新しいラジカル計測法によるシラン系プラズマの診断と制御
紙
図書
豊田浩孝[ほか著]
[出版者不明]
1997.3
全国の図書館
著者標目
豊田, 浩孝
菅井, 秀郎 中村, 圭二
リチウムコーティングとプラズマ・表面過程の基礎研究
リチウムコーティングとプラズマ・表面過程の基礎研究
紙
図書
豊田浩孝[ほか著]
[出版者不明]
1995.3
全国の図書館
著者標目
豊田, 浩孝
リチウムコ-ティングとプラズマ・表面過程の基礎研究
リチウムコ-ティングとプラズマ・表面過程の基礎研究
デジタル
文書・図像類
豊田, 浩孝
, 菅井, 秀郎
1995-03
インターネットで読める
全国の図書館
一般注記
科学研究費補助金 研究種目:一般研究(C) 課題番号:05680391 研究代表者:
豊田 浩孝
研究期間:1993-1994年度
著者標目
豊田, 浩孝
菅井, 秀郎
静電気学会誌
静電気学会誌
紙
デジタル
雑誌
静電気学会 編
静電気学会
1977-
<Z15-349>
国立国会図書館
全国の図書館
プラズマによる薄膜形成とその応用における水素の制御に関する研究
プラズマによる薄膜形成とその応用における水素の制御に関する研究
紙
図書
豊田浩孝 [著]
[出版者不明]
[1988]
全国の図書館
著者標目
豊田, 浩孝
プラズマによる薄膜形成とその応用における水素の制御に関する研究
プラズマによる薄膜形成とその応用における水素の制御に関する研究
デジタル
博士論文
豊田, 浩孝
, Toyoda, Hirotaka
1988-03-25
インターネットで読める
全国の図書館
著者標目
豊田, 浩孝
Toyoda, Hirotaka
機能材料
機能材料
紙
デジタル
雑誌
シーエムシー出版
1981-
<Z14-909>
国立国会図書館
全国の図書館
表面と真空
表面と真空
紙
雑誌
日本表面科学会, 日本真空学会 編
日本表面科学会
2018-
<Z16-474>
国立国会図書館
全国の図書館
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