芝田隼次, 関西大学 [著][芝田隼次]2003-2004<Y151-H15360485>
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- 件名IT関連産業 / シリコンウエハー / エッチング廃液 / 溶媒抽出 / 混酸廃液 / 分離操...
友清, 芳二, 九州大学1995-1996<Y151-H07455010>
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- 件名不純物ゲツタリング シリコンウエハー 格子歪み 酸素析出物 収束電子回折 高次ラウエゾーン
田中龍彦, 東京理科大学 [著][田中龍彦]2005-2007<Y151-H17550086>
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菊田和重, 北海道大学 [著][菊田和重]2003-2004<Y151-H15560164>
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三好隆志, 大阪大学 [著][三好隆志]2001-2003<Y151-H13355006>
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後藤英和, 森勇蔵, 大阪大学 [著][後藤英和]2002-2003<Y151-H14205025>
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中村等, 八戸工業高等専門学校 [著][中村等]2003-2004<Y151-H15560107>
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