大見, 忠弘, 東北大学1988-1989<Y151-S63850058>
国立国会図書館
- 件名スパツタリング 低温プロセス シリコンエピタキシヤル成長 低エネルギイオン照射 Cu配線 Al配線 超高密度LSI
大見, 忠弘, 東北大学1987-1988<Y151-S62420031>
国立国会図書館
- 件名超高速LSI LSI用配線技術 アルミニウム配線 銅配線 スパツタリング 低エネルギイオン照射 エピタキシヤル成長
大見, 忠弘, 東北大学1990-1991<Y151-H02402031>
国立国会図書館
- 件名メタルゲート自己整合MOSFET イオン注入層低温アニール Cu配線技術 超高速配線 エレクトロマイグレーシヨン 低エネルギイオン照射プロセス NON ALLOYING CONTACT
柴田直, 東北大学1987-1988<Y151-S62850050>
国立国会図書館
- 件名バイアススパツタ 低エネルギイオン照射 Al薄膜 ヒロツクフリー 低温エピタキシヤル成長 エピタキ...