森, 竜雄, 名古屋大学1998-1999<Y151-H10555104>
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内田, 恭敬, 帝京科学大学2000-2001<Y151-H12650022>
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- 件名low-k ポーラスシリカ膜 TICS TMA 層間絶縁膜 空孔率
吉川公麿, 広島大学 [著][吉川公麿]2003-2005<Y151-H15206041>
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- 件名低誘電率層間絶縁膜 / 配線 / ワイヤレス / インターコネクト / アンテ...
内田, 和男, 電気通信大学1999-2000<Y151-H11650317>
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- 件名低誘電率材料 層間絶縁膜 酸化シリコンナノポーラス薄膜 ガス中蒸発法 クラスター
諸橋, 信一, 山口大学2000-2001<Y151-H12650316>
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- 件名超伝導トンネル接合 超高真空電子ビーム蒸着 超伝導Nb薄膜 AlOxトンネルバリア SiO2層間絶縁膜
厨川, 常元, 東北大学1999-2000<Y151-H11450051>
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- 件名アブレイシブジエツト加工 噴射加工 層間絶縁膜 アイスジエツト ばり取り 選択的加工 ビア 洗浄
平山, 昌樹, 東北大学1998-1999<Y151-H10450111>
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- 件名低誘電率層間絶縁膜 高誘電率膜 マイクロ波 プラズマ 半導体 プロセス ラジア...
堀池靖浩, 東洋大学1995-1995<Y151-H05555089>
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- 件名デジタルCVD ULSI 高機能性薄膜 積層層間絶縁膜 コンフオーマルCVD 低誘電率膜 時間変調プラズマ バイア...