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現場のスパッタリング薄膜Q&A : 反応性高速スパッタの実務アドバイス 第2版
現場のスパッタリング薄膜Q&A : 反応性高速スパッタの実務アドバイス 第2版
紙
図書
小島啓安 著
日刊工業新聞社
2015.2
<ND371-L60>
国立国会図書館
全国の図書館
件名(識別子)
00562857
01155699
スパッタ実務「Q&A集」
スパッタ実務「Q&A集」
紙
図書
藤本登 企画編集
技術情報協会
2009.1
<ND371-J60>
国立国会図書館
全国の図書館
件名(識別子)
01155699
現場のスパッタリング薄膜Q&A : 反応性高速スパッタの実務アドバイス
現場のスパッタリング薄膜Q&A : 反応性高速スパッタの実務アドバイス
紙
図書
小島啓安 著
日刊工業新聞社
2008.8
<ND371-J33>
国立国会図書館
全国の図書館
件名(識別子)
00562857
01155699
オプトエレクトロニクス分野を中心としたスパッタリング法による薄膜作製・制御技術
オプトエレクトロニクス分野を中心としたスパッタリング法による薄膜作製・制御技術
紙
図書
技術情報協会
2006.10
<ND416-H155>
国立国会図書館
全国の図書館
件名(識別子)
00576721 00562857
01155699
スパッタ薄膜 : 基礎と応用
スパッタ薄膜 : 基礎と応用
紙
デジタル
図書
小林春洋 著
日刊工業新聞社
1993.2
<ND354-E48>
国立国会図書館
全国の図書館
件名(識別子)
00562857
01155699
スパッタ技術
スパッタ技術
紙
デジタル
図書
和佐清孝, 早川茂 著
共立出版
1988.6
<ND371-E20>
国立国会図書館
全国の図書館
件名(識別子)
01155699
入門真空・薄膜・スパッタリング
入門真空・薄膜・スパッタリング
紙
デジタル
図書
R.V.Stuart 著, 毛利衛, 数坂昭夫 共訳
技報堂出版
1985.10
<NB126-11>
インターネットで読める
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全国の図書館
件名(識別子)
00571070 00562857
01155699
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