河本, 洋二, 神戸大学1997-1999<Y151-H09555191>
国立国会図書館
- 件名ECRプラズマCVD 金属錯体 フツ化物 非晶質薄膜 光機能 電気機能
丸山, 一典, 長岡技術科学大学1998-1999<Y151-H10650689>
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- 件名ECRプラズマCVD 硬質炭素膜 熱腐蝕 RFバイアス マススペクトル ガス放出...
河本, 洋二, 神戸大学1995-1996<Y151-H07555196>
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- 件名フツ化物ガラス 薄膜 光導波路 ゾル・ゲル フツ化 ECRプラズマCVD 光機能
伊藤, 治彦, 長岡技術科学大学1999-2001<Y151-H11650760>
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- 件名アモルフアスCN膜 マイクロ波プラズマCVD ECRプラズマCVD CNラジカル 高分解能発光スペクトル プラズマ診断 高周波...
斎藤, 秀俊, 長岡技術科学大学1996-1997<Y151-H08555176>
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- 件名アモルフアス膜 窒加炭素 硬質膜 磁気記録ヘツド パーマロイ ECRプラズマCVD オージエ電子分光法 付着
青木, 彪, 東京工芸大学1993-1994<Y151-H05650314>
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- 件名ゲルマニウム膜 ECRプラズマCVD アモルフアス・微結晶相転移 光電特性 HALL移動度 TF...
青木, 彪, 東京工芸大学1991-1992<Y151-H03650263>
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- 件名水素化非晶質Ge (a-Ge: H) ECRプラズマCVD 光電特性 水素ラジカル照射 電子照射 イオン照射 水素エツ...