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超LSIにおけるCu配線に関する研究
超LSIにおけるCu配線に関する研究
紙
デジタル
博士論文
障害者向け資料あり
新田雄久 [著]
<UT51-95-C473>
インターネットで読める
国立国会図書館
著者標目
新田, 雄久
SOIの科学 (Surface science technology series ; no.4)
SOIの科学 (Surface science technology series ; no.4)
紙
図書
UCS半導体基盤技術研究会 編, 大見忠弘, 新田雄久 監修
リアライズ社
2000.4
<ND386-G152>
国立国会図書館
全国の図書館
著者標目
大見, 忠弘, 1939-
新田, 雄久
半導体基盤技術研究会
シリコンの科学 (Surface science technology series ; no.3)
シリコンの科学 (Surface science technology series ; no.3)
紙
図書
UCS半導体基盤技術研究会 編, 大見忠弘, 新田雄久 監修
リアライズ社
1996.6
<ND371-G192>
国立国会図書館
全国の図書館
著者標目
大見, 忠弘, 1939-
新田, 雄久
半導体基盤技術研究会
フッ素化学が拓くプロセスイノベーション
フッ素化学が拓くプロセスイノベーション
紙
図書
大見忠弘編著 ; 新田雄久, 三木正博共編
リアライズ・アドバンストテクノロジ
c2004
全国の図書館
著者標目
大見, 忠弘
新田, 雄久
三木, 正博
超LSIにおけるCu配線に関する研究
超LSIにおけるCu配線に関する研究
デジタル
文書・図像類
新田, 雄久
1994
1579
全国の図書館
著者標目
新田, 雄久
フッ素化学が拓くプロセスイノベーション
フッ素化学が拓くプロセスイノベーション
紙
図書
大見忠弘編著 ; 新田雄久, 三木正博共編
リアライズ社
1995.7
全国の図書館
著者標目
大見, 忠弘
新田, 雄久
三木, 正博
電気学会雑誌
電気学会雑誌
紙
雑誌
電気学会
1888-1993
<Z16-177>
国立国会図書館
全国の図書館
Ultra clean technology
Ultra clean technology
紙
デジタル
雑誌
半導体基盤技術研究会編集委員会 編
半導体基盤技術研究会
1990-1999
<Z15-698>
インターネットで読める
国立国会図書館
シリコンプロセスにおける微量不純物測定技術 : 超々LSI実現への鍵 (応用物理学会スクール : テキスト ; 第12回)
シリコンプロセスにおける微量不純物測定技術 : 超々LSI実現への鍵 (応用物理学会スクール : テキスト ; 第12回)
紙
図書
応用物理学会
1993.3
<ND386-H71>
国立国会図書館
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