検索結果 8 件
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- 件名高密度プラズマ 発光分光 質量分析 FT-IR 有機シリコン プラズマリアクタ 薄膜堆積 プラズマCVD
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- 件名レーザ分光 / エヴァネセント波 / 薄膜堆積 / レーザアブレーション / 励起粒子密度 / プラズマ診...
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- 件名原子層MOCVD / 分光エリプソメトリ / 高誘電率ゲート酸化膜 / 薄膜堆積その場観察 / MOSFET / チャネル移動度 / ゲート...
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- 件名低周波プラズマCVD法 CH4+H2混合ガス ドライプロセス 薄膜堆積 アモルフアスカーボン膜 ダイヤモンド薄膜 半導体低温プロセ...
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- 件名レーザアブレーション 薄膜堆積機構 チタン酸ジルコン酸鉛(PZT) Pb欠損 蒸発モデル ...
- 一般注記...「レーザアブレーションにおける薄膜堆積機構解明」課題番号08650008(KAKEN:科学研究費助...
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