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Silicon wet bulk micromachining for MEMS

Silicon wet bulk micromachining for MEMS
Paper図書
Prem Pal, Kasuo Sato.Pan Stanford Publishing[2017]<ND371-B108>
National Diet Library
  • Author Heading (ID)00865926

マイクロ・ナノデバイスのエッチング技術 普及版 (新材料・新素材シリーズ)

マイクロ・ナノデバイスのエッチング技術 普及版 (新材料・新素材シリーズ)
Paper図書
式田光宏, 佐藤一雄, 田中浩 監修シーエムシー出版2016.3<ND371-L82>
National Diet LibraryOther Libraries in Japan
  • Author Heading (ID)01180864 00865926 01180867

マイクロ・ナノデバイスのエッチング技術 ([新材料・新素材シリーズ])

マイクロ・ナノデバイスのエッチング技術 ([新材料・新素材シリーズ])
Paper図書
式田光宏, 佐藤一雄, 田中浩 監修シーエムシー出版2009.10<ND371-J96>
National Diet LibraryOther Libraries in Japan
  • Author Heading (ID)01180864 00865926 01180867

創造性モノづくり実習マニュアル : 大学版

創造性モノづくり実習マニュアル : 大学版
Paper図書
佐藤一雄 編著名古屋大学創造性モノづくり教育研究会2007.10<YU7-J9>
National Diet Library
  • Author Heading (ID)00865926

マイクロマシン材料の機械的特性とそのスケール効果の研究

マイクロマシン材料の機械的特性とそのスケール効果の研究
Paper図書
佐藤, 一雄, 名古屋大学1998-2000<Y151-H10305008>
National Diet Library
  • Author Heading (ID)00865926

マイクロ・メゾ領域を統合した結晶異方性エッチングメカニズムの研究

マイクロ・メゾ領域を統合した結晶異方性エッチングメカニズムの研究
Paper図書
佐藤一雄, 名古屋大学 [著][佐藤一雄]2002-2004<Y151-H14205016>
National Diet Library
  • Author Heading (ID)00865926 00260057

シリコンの結晶異方性エツチングプロセスモデルの研究

シリコンの結晶異方性エツチングプロセスモデルの研究
Paper図書
佐藤, 一雄, 名古屋大学1998-1999<Y151-H10044149>
National Diet Library
  • Author Heading (ID)00865926

シリコンマイクロ加工の基礎

シリコンマイクロ加工の基礎
Paper図書
M.エルベンスポーク, H.V.ヤンセン 著, 田畑修, 佐藤一雄 訳シュプリンガー・フェアラーク東京2001.12<ND371-G193>
National Diet LibraryOther Libraries in Japan
  • Author Heading (ID)00865923 00865924 00674558 00865926

シリコン単結晶からなる微細3次元構造体加工の研究

シリコン単結晶からなる微細3次元構造体加工の研究
Paper図書
佐藤, 一雄, 名古屋大学1996-1997<Y151-H08455045>
National Diet Library
  • Author Heading (ID)00865926

薄肉円管の曲げ加工における変形機構および材料特性

薄肉円管の曲げ加工における変形機構および材料特性
Paper博士論文
佐藤一雄 [著]<UT51-58-G557>
National Diet Library
  • Author Heading (ID)00865926

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