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CCDイメージセンサを用いるダイナミツクイメージング分光エリプソメータの試作

CCDイメージセンサを用いるダイナミツクイメージング分光エリプソメータの試作
Paper図書
杉本, 克久, 東北大学1998-2000<Y151-H10555238>
National Diet Library
  • Subject Headingイメージング 分光エリプソメータ CCDセンサ 膜厚 光学定数 空間分布

RFスパッタ法による3族窒化物半導体薄膜の作製とその特性に関する研究

RFスパッタ法による3族窒化物半導体薄膜の作製とその特性に関する研究
Paper図書
宮崎卓幸, 群馬大学 [著][宮崎卓幸]2002-2003<Y151-H14550288>
National Diet Library
  • Subject Heading反応性スパッタリング / 窒化物半導体 / InN / GaN / 光学的性質 / 誘電率 / バンドギャップ / 分光エリプソメータ

反応性スパッタ法による窒化3-5族半導体の作製及びその特性に関する研究

反応性スパッタ法による窒化3-5族半導体の作製及びその特性に関する研究
Paper図書
宮崎卓幸, 群馬大学1999-2000<Y151-H11650312>
National Diet Library
  • Subject Heading窒化物半導体 反応性スパツタリング 非晶質半導体 分光エリプソメータ 誘電率 光学的性質 バンドギヤツプ 偏光分光解析

完全円偏光の生成とこれを用いた分光エリプソメーターの精密校正法の開発

完全円偏光の生成とこれを用いた分光エリプソメーターの精密校正法の開発
Paper図書
山本, 正樹, 東北大学1997-1998<Y151-H09650041>
National Diet Library
  • Subject Heading分光エリプソメーター 偏光解析法 完全円偏光 校正法 エキシマレーザー KrF...

CCDマルチチヤンネルアナライザを用いる瞬間分光型マイクロエリプソメータの試作

CCDマルチチヤンネルアナライザを用いる瞬間分光型マイクロエリプソメータの試作
Paper図書
杉本, 克久, 東北大学1995-1996<Y151-H07555510>
National Diet Library
  • Subject Headingエリプソメトリー マイクロエリプソメータ 分光エリプソメータ CCDマルチチヤンネル検出器 不働態皮膜 膜厚 光学定数

リアルタイム分光エリプソメトリーによる反応性イオンエツチング機構の解析

リアルタイム分光エリプソメトリーによる反応性イオンエツチング機構の解析
Paper図書
杉本, 克久, 東北大学1995-1996<Y151-H07455284>
National Diet Library
  • Subject Heading反応性イオンエツチング リアルタイム分光エリプソメトリー マルチチヤンネル分光エリプソメータ イオンビームスパツタリング 膜厚 光学定数

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