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先進LSI銅配線薄膜の端部剥離強度評価法の開発

Paper図書

北村, 隆行, 京都大学2001-2002<Y151-H13555026>

National Diet Library

Subject HeadingLSI配線薄膜微小材料界面端部剥離強度

異材接合部の力学的特性と電気的特性のカップリングに関する第一原理解析

Paper図書

北村隆行, 京都大学 [著][北村隆行]2002-2003<Y151-H14350055>

National Diet Library

Subject Heading異材 / 力学的特性 / 電気的特性 / 第一原理解析 / 接合 / 界面構造 / 微小材料 / 分子動力学

ナノコンタクト形成過程の分子動力学シミユレーシヨン

Paper図書

北村, 隆行, 京都大学2000-2001<Y151-H12450048>

National Diet Library

Subject Headingナノコンタクト分子動力学微小材料引張変形すべり原子鎖極細線延性

Si単結晶マイクロ構造体の動的環境強度マツプの構築

Paper図書

箕島, 弘二, 京都大学2000-2001<Y151-H12555025>

National Diet Library

Subject Headingマイクロマテリアル微小材料破壊疲労引張試験結晶方位環境強度 Si単結晶

表面マイクロマシニングによる微小構造の疲労特性評価に関する研究

Paper図書

辻裕一, 東京電機大学 [著][辻裕一]2002-2003<Y151-H14550087>

National Diet Library

Subject Headingマイクロマシニング / 疲労試験 / 微小材料 / 単結晶シリコン / 異方性エッチング / 破壊じん性

サブミクロンサイズの超微小試験片用汎用材料試験装置の開発

Paper図書

肥後, 矢吉, 東京工業大学2000-2001<Y151-H12555186>

National Diet Library

Subject Heading次世代型超アイクロマシン汎用微小材料試験装置サブミクロンサイズ MEMS (Micro Ele...

マイクロマシン用Si微小構造の疲労特性評価

Paper図書

辻, 裕一, 東京電機大学1999-2000<Y151-H11650100>

National Diet Library

Subject Headingマイクロマシンマイクロメカニズム微小材料疲労疲労試験シリコン単結晶異方性エツチング

マイクロマシン用シリコン微小機構の疲労特性に関する研究

Paper図書

辻, 裕一, 東京電機大学1997-1998<Y151-H09650117>

National Diet Library

Subject Headingマイクロマシンマイクロメカニズム疲労微小材料疲労試験機シリコン単結晶

先進LSI銅配線薄膜の端部剥離強度評価法の開発

Digital文書・図像類

北村, 隆行京都大学2003-05

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Subject Heading端部 LSI配線界面薄膜剥離微小材料強度亀裂 Microscopic Material In...

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