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- Subject Headingナノコンタクト 分子動力学 微小材料 引張変形 すべり 原子鎖 極細線 延性
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- Subject Headingマイクロマテリアル 微小材料 破壊 疲労 引張試験 結晶方位 環境強度 Si単結晶
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- Subject Heading異材 / 力学的特性 / 電気的特性 / 第一原理解析 / 接合 / 界面構造 / 微小材料 / 分子動力学
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- Subject Headingマイクロマシニング / 疲労試験 / 微小材料 / 単結晶シリコン / 異方性エッチング / 破壊じん性
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- Subject Heading次世代型超アイクロマシン 汎用微小材料試験装置 サブミクロンサイズ MEMS (Micro Ele...
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- Subject Headingマイクロマシン マイクロメカニズム 微小材料 疲労 疲労試験 シリコン単結晶 異方性エツチング
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- Subject Headingマイクロマシン マイクロメカニズム 疲労 微小材料 疲労試験機 シリコン単結晶
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- Subject Heading端部 LSI配線 界面 薄膜 剥離 微小材料 強度 亀裂 Microscopic Material In...
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