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低誘電率・高絶縁耐力プラズマ堆積CxFy膜を用いたSF6代替絶縁方式の開発

低誘電率・高絶縁耐力プラズマ堆積CxFy膜を用いたSF6代替絶縁方式の開発
Paper図書
酒井洋輔, 北海道大学 [著][酒井洋輔]2001-2003<Y151-H13555077>
National Diet Library
  • Subject Heading非平衡プラズマ / フルオロカーボン / 薄膜堆積 / 電気絶縁

理論計算による立方晶窒化ホウ素薄膜堆積過程の研究

理論計算による立方晶窒化ホウ素薄膜堆積過程の研究
Paper図書
渡邉聡, 東京大学 [著][渡邉聡]2001-2003<Y151-H13450020>
National Diet Library
  • Subject Heading立方晶窒化ホウ素 / 薄膜堆積過程 / 古典分子動力学法 / 密度汎関数法 / 高速入射粒...

高密度VHFプラズマによる薄膜堆積と質量分析、発光時空分光、赤外分光、同時診断

高密度VHFプラズマによる薄膜堆積と質量分析、発光時空分光、赤外分光、同時診断
Paper図書
伊藤, 秀範, 室蘭工業大学1999-2001<Y151-H11450116>
National Diet Library
  • Subject Heading高密度プラズマ 発光分光 質量分析 FT-IR 有機シリコン プラズマリアクタ 薄膜堆積 プラズマCVD

超高品質薄膜堆積プラズマ評価用エバネセントレーザ分光診断システムの開発

超高品質薄膜堆積プラズマ評価用エバネセントレーザ分光診断システムの開発
Paper図書
Bratescu Maria A., 北海道大学 [著][Bratescu Maria A.]2002-2003<Y151-H14550407>
National Diet Library
  • Subject Headingレーザ分光 / エヴァネセント波 / 薄膜堆積 / レーザアブレーション / 励起粒子密度 / プラズマ診...

原子層MOCVDと分光エリプソメトリによる高誘電率酸化膜超薄膜の原子レベル制御

原子層MOCVDと分光エリプソメトリによる高誘電率酸化膜超薄膜の原子レベル制御
Paper図書
小田俊理, 東京工業大学 [著][小田俊理]2002-2003<Y151-H14350160>
National Diet Library
  • Subject Heading原子層MOCVD / 分光エリプソメトリ / 高誘電率ゲート酸化膜 / 薄膜堆積その場観察 / MOSFET / チャネル移動度 / ゲート...

3次元光集積回路網に関する基礎研究

3次元光集積回路網に関する基礎研究
Paper図書
西原, 浩, 大阪大学1994-1995<Y151-H06402027>
National Diet Library
  • Subject Heading光集積回路 光導波路 光学デバイス 薄膜堆積技術 グレーテイング 集積光学

低周波50HzプラズマCVD法によるカーボン薄膜の低温形成プロセスの開発

低周波50HzプラズマCVD法によるカーボン薄膜の低温形成プロセスの開発
Paper図書
下妻, 光夫, 北海道大学1990-1992<Y151-H02555056>
National Diet Library
  • Subject Heading低周波プラズマCVD法 CH4+H2混合ガス ドライプロセス 薄膜堆積 アモルフアスカーボン膜 ダイヤモンド薄膜 半導体低温プロセ...

レーザアブレーションにおける薄膜堆積機構解明

レーザアブレーションにおける薄膜堆積機構解明
Digital文書・図像類
森本, 章治, Morimoto, Akiharu2016-04-21平成8(1996)年度 科学研究費補助金 基盤研究(C) 研究概要 = 1996 Research Project Summary1996p.2p.-
Other Libraries in Japan
  • Subject Headingレーザアブレーション 薄膜堆積機構 チタン酸ジルコン酸鉛(PZT) Pb欠損 蒸発モデル ...
  • Note (General)...「レーザアブレーションにおける薄膜堆積機構解明」課題番号08650008（KAKEN：科学研究費助...

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