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- Subject Heading減圧CVD 薄膜 イオンクラスター UV励起 光電子放出 イオン化 TEOS
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- Subject Heading単分子層修飾 初期成膜 CVD TEOS 単原子層酸化 トリフルオロトキシ基 被覆率
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- Subject HeadingCVD 薄膜 イオンクラスター イオン核生成 気相核生成 TEOS 選択成長 ナノメータ粒子
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- Subject HeadingCVD 薄膜 イオン分子反応 イオン核生成 TEOS クラスターイオン ナノサイズ超微粒子 選択成長
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- Subject Heading有機シリコン リモートプラズマ シリコンカーバイド薄膜 ヘキサメチルジシラン SiO2薄膜 水素ラジカル反応 プラズマCVD TEOS
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- Subject HeadingプラズマCVD シリコン酸化膜 低周波プラズマ TEOS 薄膜生成 低温プロセス 集積回路ドライプロセス 非平衡プラ...
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- Subject Headingアモルフアスシリコンa-Si: H 光ルミネツセンス PLAS 吸収係数 TICS TEOS a-Si3N4: H a-SiO2
Digital博士論文障害者向け資料あり
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- Subject Heading機械的特性 植物繊維 耐熱性 変色 TEOS 化学処理
- Note (General)...トンの耐熱性を向上させる目的でTEOSによる化学処理を行った.処理した繊維は180~220℃の範囲...
Digital博士論文
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- Subject Heading機械的特性 植物繊維 耐熱性 変色 TEOS 化学処理
- Note (General)...トンの耐熱性を向上させる目的でTEOSによる化学処理を行った.処理した繊維は180~220℃の範囲...
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- Subject Heading...ce) -- History Teos (Extinct city) -- History Ins...
- Subject Heading (ID)...ce) -- History Teos (Extinct city) -- History Ins...