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検索結果 6 件

プラズマプロセスにおけるサブナノ粒子のその場測定法の開発

プラズマプロセスにおけるサブナノ粒子のその場測定法の開発
紙図書
渡辺, 征夫, 九州大学1996-1998<Y151-H08555019>
国立国会図書館
  • 件名クラスター 微粒子 ダスト 光電子放出 光電離 光脱離 シリコン シランプラズマ

シランプラズマ中のSiクラスタの成長機構に関する研究

シランプラズマ中のSiクラスタの成長機構に関する研究
紙図書
渡辺, 征夫, 九州大学1999-2000<Y151-H11450037>
国立国会図書館
  • 件名Siクラスタ シランプラズマ 光劣化 熱泳動力 変調放電法 水素希釈 核形成 水素化アモ...

高周波プラズマ・微粒子間相互作用の放電周波数依存性に関する研究

高周波プラズマ・微粒子間相互作用の放電周波数依存性に関する研究
紙図書
渡辺, 征夫, 九州大学1994-1995<Y151-H07458093>
国立国会図書館
  • 件名微粒子 ダスト 放電周波数依存性 シランプラズマ 高周波プラズマ 凝集 プラズマCVD

気相中微粒子の粒径・密度・屈折率の超高感度レーザ偏光散乱その場計測法の開発

気相中微粒子の粒径・密度・屈折率の超高感度レーザ偏光散乱その場計測法の開発
紙図書
白谷正治, 九州大学1994-1995<Y151-H06555023>
国立国会図書館
  • 件名レーザ散乱 2次元計測 その場計測 偏光 微粒子 プラズマCVD プラズマプロセス シランプラズマ

シランプラズマ中シリコン微粒子の成長機構の解明

シランプラズマ中シリコン微粒子の成長機構の解明
紙図書
渡辺, 征夫, 九州大学1991-1992<Y151-H03452094>
国立国会図書館
  • 件名シランプラズマ 微粒子 パウダー パーテイクル アモルフアスシリコン レー...

超音速噴流を用いたＶＨＦプラズマによる高速大面積微結晶シリコン製膜法の開発

超音速噴流を用いたＶＨＦプラズマによる高速大面積微結晶シリコン製膜法の開発
デジタル文書・図像類
牟田, 浩司近畿大学2016科学研究費助成事業研究成果報告書 (2015)p.1-5
全国の図書館
  • 要約等...化を図ることを目的としている。シランプラズマ中で超音速噴流を用いると、ガス圧とノズル基板間距離を最適化す...
  • 件名VHFプラズマ 超音速噴流 高速製膜 クラスター マルチホローカソード シランプラズマ

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