伊藤, 和男, 群馬大学2001-2002<Y151-H13650368>
国立国会図書館
- 件名反応性イオンエツチング 電子線リソグラフイ 三次元形状 パタ-ン転写
田坂, 明政, 同志社大学1999-2000<Y151-H11650864>
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- 件名三フツ化窒素 炭化ケイ素 反応性イオンエツチング 平滑化 異方性エツチング
平松和政, 三重大学 [著][平松和政]2003-2005<Y151-H15360008>
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- 件名窒化ガリウム / ナノ構造 / 反射防止構造 / フォトニック結晶 / 電子ビームリソグタフィ / 反応性イオンエッチング / 自然形成
杉本, 克久, 東北大学1997-1999<Y151-H09450264>
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- 件名プラズマエツチング 反応性イオンエツチング プラズマ下流域腐食 腐食速度 気相分析
川田, 博昭, 大阪府立大学2001-2002<Y151-H13650382>
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- 件名ゲ-ト付き微小電子線源 カ-ボンナノチユ-ブ 低電圧動作 反応性イオンエツチング 垂直配向 選択成長 電界放出特性
戒能俊邦, 東北大学 [著][戒能俊邦]2001-2003<Y151-H13450025>
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- 件名リフトオフプロセス / 反応性イオンエッチング / フォトプロセス / 有機イオン性色素 / 紫外線硬化エ...
杉本, 克久, 東北大学1995-1996<Y151-H07455284>
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- 件名反応性イオンエツチング リアルタイム分光エリプソメトリー マルチチヤンネル分光エリ...
木下, 治久, 静岡大学1991-1992<Y151-H03805025>
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- 件名マグネトロンプラズマ スーパーマグネトロンプラズマ 半導体プロセス プラズマエツチング 低温エツチング クオータミクロンエツチング プラズマプロセス 反応性イオンエツチング