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反応性スパツタリング
法による導電性Rh酸化物薄膜の作製とその物性
反応性スパツタリング法による導電性Rh酸化物薄膜の作製とその物性
紙
図書
阿部, 良夫, 北見工業大学
1999-2000
<Y151-H11650311>
国立国会図書館
件名
反応性スパツタリング
導電性酸化物薄膜
スパッタリング法による電気化学的に活性な水和酸化物及び水酸化物薄膜の作製
スパッタリング法による電気化学的に活性な水和酸化物及び水酸化物薄膜の作製
紙
図書
阿部良夫, 北見工業大学 [著]
[阿部良夫]
2006-2007
<Y151-H18560297>
国立国会図書館
件名
反応性スパッタリング
/ 水和酸化物 / 水酸化物 / 固体電解質薄膜 / 電気...
酸素欠陥を有するセラミツクスの気相電解有機合成反応への応用
酸素欠陥を有するセラミツクスの気相電解有機合成反応への応用
紙
図書
竹平, 勝臣, 広島大学
2000-2002
<Y151-H12309006>
国立国会図書館
件名
固体電解質 酸素格子欠陥 メンブレンリアクタ- 格子酸素 炭化水素部分参加
反応性スパツタリング
2D-3D型新規酸化物超伝導薄膜デバイス
2D-3D型新規酸化物超伝導薄膜デバイス
紙
図書
高井吉明, 名古屋大学
1998-1999
<Y151-H10650056>
国立国会図書館
件名
2D-3D型高温超伝導トランジスタ
反応性スパツタリング
Pt/YBCO/Pt
プラズマスパッタリングにおける光誘起表面反応プロセスの解明
プラズマスパッタリングにおける光誘起表面反応プロセスの解明
紙
図書
浜口智志, 大阪大学 [著]
[浜口智志]
2005-2006
<Y151-H17340174>
国立国会図書館
件名
プラズマ / エッチング /
反応性スパッタリング
/ 紫外線照射 / 分子動力学シミュレーション / モンテ...
RFスパッタ法による3族窒化物半導体薄膜の作製とその特性に関する研究
RFスパッタ法による3族窒化物半導体薄膜の作製とその特性に関する研究
紙
図書
宮崎卓幸, 群馬大学 [著]
[宮崎卓幸]
2002-2003
<Y151-H14550288>
国立国会図書館
件名
反応性スパッタリング
/ 窒化物半導体 / InN / GaN / 光学的性質 ...
反応性スパツタリング
法による超硬質多元系窒化物薄膜の高精度組成コントロール
反応性スパツタリング法による超硬質多元系窒化物薄膜の高精度組成コントロール
紙
図書
小寺澤, 啓司, 姫路工業大学
1998-1999
<Y151-H10650096>
国立国会図書館
件名
窒化チタン
反応性スパツタリング
プロセス制御 分光分析 二源スパツタリング
TiN被覆ステンレス鋼のピンホール欠陥と耐食性評価
TiN被覆ステンレス鋼のピンホール欠陥と耐食性評価
紙
図書
内田, 仁, 姫路工業大学
1996-1997
<Y151-H08650118>
国立国会図書館
件名
窒化物薄膜 高周波
反応性スパツタリング
ピンホール欠陥 分極曲線
酸化物の
反応性スパツタリング
過程に関する研究
酸化物の反応性スパツタリング過程に関する研究
紙
図書
松田, 良信, 長崎大学
1999-2001
<Y151-H11680488>
国立国会図書館
件名
反応性スパツタリング
酸化物薄膜 MgO 金属モード 酸化物モード ヒステリシス...
反応性スパッタ法による窒化3-5族半導体の作製及びその特性に関する研究
反応性スパッタ法による窒化3-5族半導体の作製及びその特性に関する研究
紙
図書
宮崎卓幸, 群馬大学
1999-2000
<Y151-H11650312>
国立国会図書館
件名
窒化物半導体
反応性スパツタリング
非晶質半導体 分光エリプソメータ 誘電率 光学的性質 バン...
パルス励起ECRプラズマのエネルギー緩和過程に関する研究
パルス励起ECRプラズマのエネルギー緩和過程に関する研究
紙
図書
秋津, 哲也, 山梨大学
1998-1999
<Y151-H10680454>
国立国会図書館
件名
反応性スパツタリング
電子サイクロトロン共鳴プラズマ 原子状酸素 圧電性結晶 圧...
反応性スパツタリング
法による非晶質薄膜の合成及び材料設計
反応性スパツタリング法による非晶質薄膜の合成及び材料設計
紙
図書
安井, 至, 東京大学
1992-1993
<Y151-H04453063>
国立国会図書館
件名
反応性スパツタリング
薄膜 2成分ターゲツト 非晶質 材料設計 ケイ化物 酸化物
金属・窒化物系傾斜機能薄膜による材料表面改質に関する研究
金属・窒化物系傾斜機能薄膜による材料表面改質に関する研究
紙
図書
小寺澤, 啓司, 姫路工業大学
1992-1993
<Y151-H04650071>
国立国会図書館
件名
高周波
反応性スパツタリング
傾斜機能薄膜 発光分光 質量分析 オージエ電子分光法
界面制御によるシリコン基板上への強誘電体薄膜のヘテロエピタキシヤル成長
界面制御によるシリコン基板上への強誘電体薄膜のヘテロエピタキシヤル成長
紙
図書
堀田, 将, 北陸先端科学技術大学院大学
1997-1998
<Y151-H09450125>
国立国会図書館
件名
ジルコン酸チタン酸鉛 シリコン 強誘電体 イツトリア安定化ジルコニア
反応性スパツタリング
ヘテロエピタキシヤル成長 強誘電体メモリ
超硬質窒化物多層薄膜による材料表面改質に関する研究
超硬質窒化物多層薄膜による材料表面改質に関する研究
紙
図書
小寺澤, 啓司, 姫路工業大学
1990-1991
<Y151-H02650059>
国立国会図書館
件名
窒化物薄膜 高周波
反応性スパツタリング
法 酸化挙動 窒化チタン 窒化アルミニウム
反応性高周波マグネトロンスパツタリングによる機能性コーテイング
反応性高周波マグネトロンスパツタリングによる機能性コーテイング
紙
図書
森, 敏彦, 名古屋大学
1993-1994
<Y151-H05555043>
国立国会図書館
件名
反応性スパツタリング
高周波スパツタリング マグネトロンスパツタリング 機能性コ...
カーボンフアイバー上形成窒化ニオブ線の作製とその超伝導特性
カーボンフアイバー上形成窒化ニオブ線の作製とその超伝導特性
紙
図書
脇山, 徳雄, 東北大学
1985-1986
<Y151-S60550220>
国立国会図書館
件名
超伝導 窒化ニオブ カーボンフアイバー
反応性スパツタリング
高速
反応性スパツタリング
による構造安定性鉄窒化膜の作製
高速反応性スパツタリングによる構造安定性鉄窒化膜の作製
紙
図書
入戸野, 修, 東京工業大学
1988-1989
<Y151-S63850152>
国立国会図書館
件名
スパツタリング膜
反応性スパツタリング
鉄窒化膜 構造安定相 高堆積速度 磁性薄膜 磁気記録媒体 ...
スパッタ・イオンプレーティング複合人工格子作製装置の開発研究
スパッタ・イオンプレーティング複合人工格子作製装置の開発研究
デジタル
文書・図像類
畑, 朋延, Hata, Tomonobu
2003-09-16
平成13(2001)年度 科学研究費補助金 基盤研究(B) 研究概要 = 2001 Research Project Summary
1999 – 2001
p.2p.-
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件名
...グ ヘテロエピタキシャル成長
反応性スパッタリング
イットリア安定化ジルコニア S:Ge(シリコンゲルマニウム...
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