検索結果 13 件
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国立国会図書館
- 件名光デイスク 浮動スライダ フレキシブル導波路 接触ヘツド 近接型光ヘツド 2段サーボ 静電アクチユエータ トラツキングエラー
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- 件名アクチュエータ / マイクロマシニング / 高密度記録 / ナノマシニング / 走査型プローブ顕微鏡 / 圧電アクチュエータ / 静電アクチュエータ / 電界放出エミッタ
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- 件名マイクロマシン 表面マイクロマシーニング 静電アクチユエータ 真空トンネル電流 変位センサ 加速度センサ 原子間力顕微鏡...
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- 件名マイクロアクチユエータ フアトフアイブリケーシヨン マイクロマシニング 静電アクチユエータ 立体的微細加工 静電サーボ 能動カテーテル 協調制御
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