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Handbook of ceramics grinding and polishing Second edition.
Handbook of ceramics grinding and polishing Second edition.
紙
図書
[edited by] Ioan D. Marinescu, Toshiro K. Doi, Eckart Uhlmann.
William Andrew
[2015]
<NB55-B7>
国立国会図書館
Advances in CMP/polishing technologies for the manufacture of electronic devices
Advances in CMP/polishing technologies for the manufacture of electronic devices
紙
図書
edited by Toshiro Doi, Ioan D. Marinescu, Syuhei Kurokawa.
William Andrew
2012.
<NB55-B4>
国立国会図書館
詳説半導体CMP技術
詳説半導体CMP技術
紙
図書
土肥俊郎 編著
工業調査会
2001.1
<ND386-G180>
国立国会図書館
全国の図書館
土肥俊郎研究室展示パネル
土肥俊郎研究室展示パネル
デジタル
文書・図像類
土肥, 俊郎
埼玉大学総合研究機構地域共同研究センター産学交流協議会
2007
第1回テクノ・カフェ : セミナー資料
全国の図書館
超精密ポリシング(研磨)技術とその高性能部品化への応用に関する研究
超精密ポリシング(研磨)技術とその高性能部品化への応用に関する研究
デジタル
文書・図像類
土肥, 俊郎
埼玉大学総合研究機構地域共同研究センター産学交流協議会
2007
第1回テクノ・カフェ : セミナー資料
全国の図書館
Advances in CMP/polishing technologies for the manufacture of electronic devices : hbk
Advances in CMP/polishing technologies for the manufacture of electronic devices : hbk
紙
図書
edited by Toshiro Doi, Ioan D. Marinescu, Syuhei Kurokawa
William Andrew : Elsevier
2012
全国の図書館
CMP技術大系
CMP技術大系
紙
図書
土肥俊郎, 木下正治 監修, 精密工学会「プラナリゼーションCMPとその応用技術専門委員会」 編
グローバルネット
2006.6
<ND386-J147>
国立国会図書館
全国の図書館
超精密生産技術大系 第4巻
超精密生産技術大系 第4巻
紙
図書
河西敏雄 [ほか]編
フジ・テクノシステム
1996.2
<NB51-E20>
国立国会図書館
全国の図書館
最新CMPプロセスと材料技術
最新CMPプロセスと材料技術
紙
図書
土肥俊郎, 木下正治監修
技術情報協会
2002.1
全国の図書館
半導体平坦化CMP技術 : 超LSI製造のキープロセス (K books series ; 134)
半導体平坦化CMP技術 : 超LSI製造のキープロセス (K books series ; 134)
紙
図書
土肥俊郎, 河西敏雄, 中川威雄 著
工業調査会
1998.7
<ND386-G88>
国立国会図書館
全国の図書館
Cu CMP用砥粒フリー"ミセルスラリー"の概念及びその特性
Cu CMP用砥粒フリー"ミセルスラリー"の概念及びその特性
デジタル
文書・図像類
沖田, 光史, 船越, 真二, 松田, 隆之, 高橋, 秀明, 鶴ヶ谷, 宗昭, 宮崎, 久遠, 土肥, 俊郎
埼玉大学地域共同研究センター
2003
埼玉大学地域共同研究センター紀要
3
p.3-6
全国の図書館
応用技術
応用技術
紙
図書
土肥俊郎編集委員長
フジ・テクノシステム
1996.2
全国の図書館
ULSIグローバル・プラナリゼーションのための超精密機械的平坦化技術
ULSIグローバル・プラナリゼーションのための超精密機械的平坦化技術
紙
図書
河西敏雄, 土肥俊郎監修・編集
グローバルネット
1995.5
全国の図書館
光技術コンタクト
光技術コンタクト
紙
デジタル
雑誌
光学工業技術協会
1987-
<Z15-362>
インターネットで読める
国立国会図書館
全国の図書館
月刊トライボロジー
月刊トライボロジー
紙
デジタル
雑誌
新樹社
1987-
<Z16-1638>
国立国会図書館
全国の図書館
Abrasive technology : 砥粒加工学会誌 : journal of the Japan Society for Abrasive Technology
Abrasive technology : 砥粒加工学会誌 : journal of the Japan Society for Abrasive Technology
紙
雑誌
砥粒加工学会
1987-
<Z16-1147>
国立国会図書館
全国の図書館
Femtosecond laser processing on hard-to-process materials and its application to CMP process
Femtosecond laser processing on hard-to-process materials and its application to CMP process
デジタル
博士論文
障害者向け資料あり
王, 成武
2016-03-25
インターネットで読める
国立国会図書館
全国の図書館
寄与者
黒河 周平 澤田 廉士
土肥 俊郎
CMPにおける巨視的および微視的モデルに基づいた加工メカニズムに関する研究
CMPにおける巨視的および微視的モデルに基づいた加工メカニズムに関する研究
デジタル
博士論文
障害者向け資料あり
礒部, 晶
2014-05-31
インターネットで読める
国立国会図書館
全国の図書館
真空ジャーナル
真空ジャーナル
紙
雑誌
日本真空工業会出版委員会
[1993]-
<Z16-2543>
国立国会図書館
全国の図書館
精密工学会誌
精密工学会誌
紙
記録メディア
雑誌
会誌編集委員会 編
精密工学会
1986-
<Z16-466>
国立国会図書館
全国の図書館
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