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高エネルギー光電子分光法開発と高誘電率膜/シリコン界面の化学結合状態分析への応用
高エネルギー光電子分光法開発と高誘電率膜/シリコン界面の化学結合状態分析への応用
Paper
図書
服部健雄, 武蔵工業大学 [著]
[服部健雄]
2003-2005
<Y151-H15206006>
National Diet Library
Author Heading
服部, 健雄
武蔵工業大学
極薄シリコン酸化膜/シリコン界面のキヤリア捕獲準位と微視的構造との関係の解明
極薄シリコン酸化膜/シリコン界面のキヤリア捕獲準位と微視的構造との関係の解明
Paper
図書
服部, 健雄
, 武蔵工業大学
1998-2000
<Y151-H10450020>
National Diet Library
Author Heading
服部, 健雄
シリコン酸化膜/シリコン界面形成の原子スケール制御による超平坦界面の実現
シリコン酸化膜/シリコン界面形成の原子スケール制御による超平坦界面の実現
Paper
図書
服部, 健雄
, 武蔵工業大学
1996-1998
<Y151-H08455023>
National Diet Library
Author Heading
服部, 健雄
水素終端したシリコン面の熱酸化による超平坦シリコン酸化膜/シリコン界面の実現
水素終端したシリコン面の熱酸化による超平坦シリコン酸化膜/シリコン界面の実現
Paper
図書
服部, 健雄
, 武蔵工業大学
1994-1996
<Y151-H06452123>
National Diet Library
Author Heading
服部, 健雄
水素終端シリコンの初期酸化機構と極薄金属膜/極薄シリコン酸化膜界面構造の解明
水素終端シリコンの初期酸化機構と極薄金属膜/極薄シリコン酸化膜界面構造の解明
Paper
図書
服部, 健雄
, 武蔵工業大学
1992-1993
<Y151-H04452096>
National Diet Library
Author Heading
服部, 健雄
超軟X線励起光電子分光法の高性能化に関する研究
超軟X線励起光電子分光法の高性能化に関する研究
Paper
図書
服部, 健雄
, 武蔵工業大学
1988-1990
<Y151-S63850009>
National Diet Library
Author Heading
服部, 健雄
Bi微粒子を分散した絶縁性薄膜の物性測定と高速応答光検出器への応用に関する研究
Bi微粒子を分散した絶縁性薄膜の物性測定と高速応答光検出器への応用に関する研究
Paper
図書
服部健雄, 武蔵工業大学
1982-1983
<Y151-S57460057>
National Diet Library
Author Heading
服部, 健雄
固体表面と界面の物性 (アドバンスト・エレクトロニクスシリーズ ; 1. エレクトロニクス材料・物性・デバイス ; 19)
固体表面と界面の物性 (アドバンスト・エレクトロニクスシリーズ ; 1. エレクトロニクス材料・物性・デバイス ; 19)
Paper
図書
村田好正, 八木克道, 服部健雄 共著
培風館
1999.3
<MC141-G57>
National Diet Library
Other Libraries in Japan
Author Heading
村田, 好正, 1935- 八木, 克道, 1939-
服部, 健雄
, 1937- 菅野, 卓雄, 1931-
Si-SiO2界面構造とキヤリア捕獲準位に関する研究
Si-SiO2界面構造とキヤリア捕獲準位に関する研究
Paper
図書
服部, 健雄
, 武蔵工業大学
1981-
<Y151-S56550024>
National Diet Library
Author Heading
服部, 健雄
その場観察用X線光電子分光分析器の開発とシリコン酸化・窒化極薄膜の形成機構の解明
その場観察用X線光電子分光分析器の開発とシリコン酸化・窒化極薄膜の形成機構の解明
Paper
図書
服部, 健雄
, 武蔵工業大学
1989-1991
<Y151-H01065003>
National Diet Library
Author Heading
服部, 健雄
, 1937-
半金属ビスマスにおける電子正孔プラズマ拡散の効果に関する研究
半金属ビスマスにおける電子正孔プラズマ拡散の効果に関する研究
Paper
博士論文
服部健雄 [著]
<UT51-47-E79>
National Diet Library
Author Heading
服部, 健雄
真空
真空
Paper
雑誌
日本真空協会
1958-2007
<Z16-474>
National Diet Library
Volumes of this title
表面科学
表面科学
Paper
雑誌
日本表面科学会 編
日本表面科学会
1980-2017
<Z15-379>
National Diet Library
Other Libraries in Japan
Volumes of this title
電気学会論文誌 C 電子・情報・システム部門誌
電気学会論文誌 C 電子・情報・システム部門誌
Paper
雑誌
電気学会
1972-
<Z16-795>
National Diet Library
Other Libraries in Japan
Volumes of this title
応用物理
応用物理
Paper
雑誌
応用物理学会
1932-
<Z15-243>
National Diet Library
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Volumes of this title
表面技術
表面技術
Paper
雑誌
表面技術協会
1989-
<Z17-291>
National Diet Library
Other Libraries in Japan
Volumes of this title
日本結晶学会誌
日本結晶学会誌
Paper
雑誌
日本結晶学会
1959-
<Z15-138>
National Diet Library
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Volumes of this title
Ultra clean technology
Ultra clean technology
Paper
Digital
雑誌
半導体基盤技術研究会編集委員会 編
半導体基盤技術研究会
1990-1999
<Z15-698>
Available online
National Diet Library
Volumes of this title
材料科学 : 日本材料科学会誌
材料科学 : 日本材料科学会誌
Paper
Digital
雑誌
日本材料科学会
1964-2001
<Z14-778>
National Diet Library
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Volumes of this title
固体物理
固体物理
Paper
Digital
雑誌
アグネ技術センター [編]
アグネ技術センター
1966-
<Z15-11>
National Diet Library
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