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粒子エネルギー制御型新規マグネトロンプラズマ源の開発

粒子エネルギー制御型新規マグネトロンプラズマ源の開発
Paper図書
豊田浩孝, 名古屋大学 [著][豊田浩孝]2006-2007<Y151-H18540489>
National Diet Library
  • Subject Headingマグネトロンスパッタ / 高エネルギー粒子 / 質量分析 / 多層膜 / 平坦膜...

複合金属酸化物透明導電性膜の物性と特性制御に関する研究

複合金属酸化物透明導電性膜の物性と特性制御に関する研究
Paper図書
南, 内嗣, 金沢工業大学1999-2000<Y151-H11650033>
National Diet Library
  • Subject Heading透明導電膜 多元系複合酸化物 マグネトロンスパツタリング

高温耐性に優れた複合金属酸化物透明導電性薄膜の研究

高温耐性に優れた複合金属酸化物透明導電性薄膜の研究
Paper図書
南, 内嗣, 金沢工業大学1997-1998<Y151-H09650035>
National Diet Library
  • Subject Heading透明導電膜 複合金属酸化物 マグネトロンスパツタリング 透明伝導性

カルコパイライト型半導体を用いた次世代薄膜太陽電池の開発に関する研究

カルコパイライト型半導体を用いた次世代薄膜太陽電池の開発に関する研究
Paper図書
山口利幸, 和歌山工業高等専門学校 [著][山口利幸]2002-2003<Y151-H14550314>
National Diet Library
  • Subject Heading太陽電池 / カルコパイライト型 / バッファ層 / 気相固相結晶化法 / 溶液成長法 / 高周波マグネトロンスパッタ法

アモルファスSi中のErの発光に対するダングリングボンドの役割

アモルファスSi中のErの発光に対するダングリングボンドの役割
Paper図書
久米田稔, 金沢大学 [著][久米田稔]2004-2006<Y151-H16560005>
National Diet Library
  • Subject Heading水素化アモルファスSi / Er添加 / マグネトロンスパッタリング / フォトルミネッセンス / シュタルク準位 / S...

炭化ケイ素のECRプラズマ酸化によるシリコンナノ粒子分散薄膜の作製とEL特性

炭化ケイ素のECRプラズマ酸化によるシリコンナノ粒子分散薄膜の作製とEL特性
Paper図書
後藤孝, 東北大学 [著][後藤孝]2002-2004<Y151-H14350346>
National Diet Library
  • Subject Heading炭化ケイ素 / 電子サイクロトロン共鳴 / ECRプラズマ酸化 / シリコンナノ粒子 / 酸素分圧 / フォトルミネッセンス / SiO膜 / RFマグネトロンスパッタ

複合酸化物系透明導電膜を用いた新機能性薄膜の開発

複合酸化物系透明導電膜を用いた新機能性薄膜の開発
Paper図書
福田, 一郎, 金沢工業大学1996-1997<Y151-H08555079>
National Diet Library
  • Subject Heading複合酸化物 透明導電膜 スパツタ薄膜 マグネトロンスパツタリング 透明電極 機能性薄膜

層間トンネル分光による高温超伝導物性の研究

層間トンネル分光による高温超伝導物性の研究
Paper図書
鈴木, 実, 京都大学2000-2001<Y151-H12640344>
National Diet Library
  • Subject Heading高温超伝導 エピタキシヤル成長 マグネトロンスパツタ法 La2-xSrxCuO4 Bi2Sr2CaCu2O8+δ...

高周波マグネトロンスパツタ法を用いた極微粒ダイヤモンド砥粒に対する表面改質

高周波マグネトロンスパツタ法を用いた極微粒ダイヤモンド砥粒に対する表面改質
Paper図書
仙波, 卓弥, 福岡工業大学1998-1999<Y151-H10650128>
National Diet Library
  • Subject Heading高周波マグネトロンスパツタ法 極微粒ダイヤモンド砥粒 表面改質 レジンボンドホイール ...

膜組成制御スパツタ装置の試作と金属-セラミツクス接合の応用

膜組成制御スパツタ装置の試作と金属-セラミツクス接合の応用
Paper図書
中島, 孝慈, 富山工業高等専門学校1990-1991<Y151-H01850067>
National Diet Library
  • Subject Heading組成比率 合金膜 マグネトロンスパツタ 多層構造 セラミツク 金属接合 濡れ 蝋付け

反応性高周波マグネトロンスパツタリングによる機能性コーテイング

反応性高周波マグネトロンスパツタリングによる機能性コーテイング
Paper図書
森, 敏彦, 名古屋大学1993-1994<Y151-H05555043>
National Diet Library
  • Subject Heading反応性スパツタリング 高周波スパツタリング マグネトロンスパツタリング 機能性コーテイング 傾斜機能膜 TiN膜 W膜

合金組成比を任意に制御出来る低温・高速スパツタ装置の開発研究

合金組成比を任意に制御出来る低温・高速スパツタ装置の開発研究
Paper図書
畑, 朋延, 金沢大学1986-1988<Y151-S61850050>
National Diet Library
  • Subject Heading薄膜 マグネトロンスパツタ シリサイド 傾斜機能材料 プラズマ制御

紫外線照射下での斜め対向ターゲツト式スパツタ法による薄膜作製装置の開発

紫外線照射下での斜め対向ターゲツト式スパツタ法による薄膜作製装置の開発
Paper図書
富永, 喜久雄, 徳島大学1992-1994<Y151-H04650269>
National Diet Library
  • Subject Heading対向ターゲツト式スパツタ法 酸化亜鉛薄膜 透明導電膜 プレーナマグネトロンスパツタ法 紫外線照射 高速粒子衝撃 Zno: Al

透明導電膜の低シート抵抗化と電気的・光学的特性の理論的解明

透明導電膜の低シート抵抗化と電気的・光学的特性の理論的解明
Paper図書
南, 内嗣, 金沢工業大学1985-1987<Y151-S60550014>
National Diet Library
  • Subject Heading透明導電膜 酸化亜鉛 マグネトロンスパツタ 透明電極 オプトエレクトロニクス

対向ターゲツト式プレーナマグネトロンスパツタリング法による薄膜作製装置の開発

対向ターゲツト式プレーナマグネトロンスパツタリング法による薄膜作製装置の開発
Paper図書
富永, 喜久雄, 徳島大学1989-1990<Y151-H01550249>
National Diet Library
  • Subject Heading対向ターゲツト式スパツタリング法 プレーナマグネトロンスパツタリング 酸化亜鉛薄膜 窒化アルミニウム薄膜

ケージ状ナノクラスター複合薄膜の創製とその熱電変換特性の解明

ケージ状ナノクラスター複合薄膜の創製とその熱電変換特性の解明
Digital文書・図像類
中嶋, 敦2019科学研究費補助金研究成果報告書
Other Libraries in Japan
  • Subject Headingナノクラスター,超原子,薄膜,マグネトロンスパッタリング,表面光電子分光,顕微光電子分光,金属内包シリコン,熱...
  • Note (General)...状ナノクラスターM＠Si16をマグネトロンスパッタリング法によって気相合成し、その蒸着によってナノクラスター薄...

機能ナノクラスター単層膜の複合界面制御とその電子物性の解明

機能ナノクラスター単層膜の複合界面制御とその電子物性の解明
Digital文書・図像類
中嶋, 敦, 角山, 寛規, 渋田, 昌弘2018科学研究費補助金研究成果報告書
Other Libraries in Japan
  • Subject Headingナノクラスター,マグネトロンスパッタリング,表面光電子分光,マイクロ混合器,金属内包シリコン,超...

層間トンネル分光による高温超伝導物性の研究

層間トンネル分光による高温超伝導物性の研究
Digital文書・図像類
鈴木, 実京都大学2002-03
Available onlineOther Libraries in Japan
  • Subject Heading...ring エピタキシャル成長 マグネトロンスパッタ法 擬ギャップ 超伝導ギャップ 固有トンネル分光 高温超伝導...

有機デバイス用薄膜電極堆積技術に関する研究

有機デバイス用薄膜電極堆積技術に関する研究
Digital博士論文
山田, 実
Available onlineOther Libraries in Japan
  • Subject HeadingEB蒸着 マグネトロンスパッタ AI AZO 有機層 OLED ダメージ 蛍光 X線 Al...

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