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National Diet LibraryOther Libraries in Japan
- Subject Headingリソグラフィー
- Authority（Subject Heading/altLabel）フォトリソグラフィー 電子ビームリソグラフィー フォトエッチング Lithography
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- Toc / Article【第I編 総論】 第1章 リソグラフィープロセス概論 1 はじめに 2 リソグラフィープロセス 3 3層レジストプ......UV レジスト 10 その他のリソグラフィ用材料 10.1 EB 10.......技術 2.1 ブロック共重合体リソグラフィ 2.2 グラフォエピタキシ技......光性樹脂の現像特性の評価 6 リソグラフィーシミュレーションを利用したプ......osure Matrix 7 リソグラフィーシミュレーションを利用したプ......レジストの評価技術 1 EUVリソグラフィとEUVレジスト材料 1.1 EUVリソグラフィの背景 1.2 EUVレジスト......工技術について 2 極端紫外線リソグラフィ技術 3 EUVリソグラフィの現状と今後の展開 3.1 E......後の展望 第3章 3次元フォトリソグラフィ 1 背景 2 スプレー成膜 ......最新の液浸露光装置 6 EUVリソグラフィーの開発と最新状況
- Subject Heading感光性樹脂 リソグラフィー
- Authority（Subject Heading/altLabel）フォトポリマー Photopolymers フォトリソグラフィー 電子ビームリソグラフィー フォトエッチング Lithography
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- Toc / Article【第Ⅰ編 ロードマップとリソグラフィ・フォトレジストの基礎】 第1......程)の進化 5 結言 第2章 リソグラフィの基礎 1 はじめに 2 リソグラフィ工程 3 露光 4 照明 5 ......液浸レジストの進展 3 EUVリソグラフィ向け化学増幅型レジスト技術 4 EUVリソグラフィにおける他のレジストアプローチ......UVレジスト】 第1章 EUVリソグラフィの現状と今後の展開 2 EUVリソグラフィの技術課題 3 EUVレジスト......olor) 第3章 自己組織化リソグラフィ 2 誘導自己組織化(DSA)リソグラフィ技術の背景 3 DSAリソグラフィ用ブロック共重合体(BCP) ......ジストの解析・評価】 第1章 リソグラフィーシミュレーションを利用したレ......光性樹脂の現像特性の評価 4 リソグラフィーシミュレーションを利用したプ......・現像装置の例 3 先端EUVリソグラフィの課題 4 化学増幅型EUVレ......レジスト倒壊防止技術 4.3 リソグラフィとエッチングの連携による化学増......第2章 EUV光源 2 EUVリソグラフィ 2.1 EUVリソグラフィと開発の経緯 2.2 世界の露光装置開発と市場の現況 3 高...
- Summary, etc.IoTや5Gの社会実装に伴い研究が進むフォトレジストとリソグラフィ技術をまとめた一冊。ロードマップや材料開発，EUVレジストな...
- Subject Heading感光性樹脂 リソグラフィー
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- Toc / Article...1 レジストプロセス 1.2 リソグラフィープロセス 1.3 各種レジストプロセス （1） 3層レジス...
- Author introduction...して、電子デバイス、電子材料、リソグラフィ、コーティング、表面界面、プロセス技術の研究開発を行う。 ...
- Subject Heading感光性樹脂 リソグラフィー
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- Toc / Article目次 【総括編】 1. レジスト&リソグラフィ関連市場の全体展望/ 3 2.......スト関連材料/ 6 2-3) リソグラフィ関連部材/ 7 3. 分野別市......ト関連材料/ 19 3-3) リソグラフィ関連部材/ 23 4. 液状レ......離液・残渣除去剤/ 204 【リソグラフィ関連部材編】 1. 半導体用フォトマスク/ 215 2. 液...
- Subject Headingリソグラフィー
- Authority（Subject Heading/altLabel）フォトリソグラフィー 電子ビームリソグラフィー フォトエッチング Lithography
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- Contents内容紹介：半導体チップの微細回路を生み出すキーテクノロジー「リソグラフィ」技術をわかりやすく解説した入門書。プロセスフローを例にして...
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- Subject Heading感光性樹脂 リソグラフィー
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- Summary, etc.電子線リソグラフィのノウハウを解説
- Subject Headingリソグラフィー
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