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低誘電率・高絶縁耐力プラズマ堆積a-C:F膜による機器絶縁の軽量化と耐電圧向上

低誘電率・高絶縁耐力プラズマ堆積a-C:F膜による機器絶縁の軽量化と耐電圧向上
Paper図書
酒井洋輔, 北海道大学 [著][酒井洋輔]2005-2007<Y151-H17360121>
National Diet Library
  • Subject Heading絶縁膜 / プラズマCVD / パーフルオロカーボン / 低誘電率 / 絶縁耐力 / a-C : F膜

シリコンチップ間超高速グローバルインタコネクト研究

シリコンチップ間超高速グローバルインタコネクト研究
Paper図書
吉川公麿, 広島大学 [著][吉川公麿]2003-2005<Y151-H15206041>
National Diet Library
  • Subject Heading低誘電率層間絶縁膜 / 配線 / ワイヤレス / インターコネクト ...

高耐熱性低誘電率層間絶縁膜に関する研究

高耐熱性低誘電率層間絶縁膜に関する研究
Paper図書
原, 徹, 法政大学2000-2002<Y151-H12650323>
National Diet Library
  • Subject Heading超LSI高速化 多層配線層 低誘電率層間膜 耐熱性向上 定着力向上 界面反応

ミリ波帯通信用の新しい高Q誘電体の材料開発とナノ結晶構造解析

ミリ波帯通信用の新しい高Q誘電体の材料開発とナノ結晶構造解析
Paper図書
小川宏隆, 名城大学 [著][小川宏隆]2003-2005<Y151-H15360353>
National Diet Library
  • Subject Headingマイクロ波誘電体 / ナノ結晶構造解析 / コランダム系材料 / 低誘電率材料 / LTCC / 高Q / セラミック

ケイ素化合物の特性制御による新規光電機能材料設計指針の確立

ケイ素化合物の特性制御による新規光電機能材料設計指針の確立
Paper図書
川上雄資, 北陸先端科学技術大学院大学 [著][川上雄資]2004-2007<Y151-H16205016>
National Diet Library
  • Subject Headingシロキサン / シルセスキオキサン / 特異構造 / X線構造解析 / 半導体封止材料 / 耐熱材料 / 低誘電率材料 / ホログラフィ材料

ナノポ-ラス/有機構造低誘電率膜と金属電極の界面制御

ナノポ-ラス/有機構造低誘電率膜と金属電極の界面制御
Paper図書
吉川, 公麿, 広島大学1999-2001<Y151-H11450126>
National Diet Library
  • Subject Heading低誘電率膜 有機膜 多層配線 集積回路 銅配線 ポ-ラス 金属電極 ...

非芳香族多脂環構造ポリイミドの合成と物性評価

非芳香族多脂環構造ポリイミドの合成と物性評価
Paper図書
松本利彦, 東京工芸大学 [著][松本利彦]2000-2002<Y151-H12650890>
National Diet Library
  • Subject Headingポリイミド / 非芳香族 / 多脂環構造 / 脂肪族 / 脂環式 / 無色透明 / 屈折率 / 低誘電率

窒素ラデイカル・スパツタ法によるアモルフアス窒化炭素の創製と光伝導等への応用

窒素ラデイカル・スパツタ法によるアモルフアス窒化炭素の創製と光伝導等への応用
Paper図書
仁田, 昌二, 岐阜大学2001-2002<Y151-H13650008>
National Diet Library
  • Subject Heading窒化炭素 光伝導体 低誘電率媒体 重粒子の検出 光感度 レイヤ-・バイ・レイヤ-法 薄膜...

酸化シリコンナノポーラス薄膜の低誘電率材料への応用

酸化シリコンナノポーラス薄膜の低誘電率材料への応用
Paper図書
内田, 和男, 電気通信大学1999-2000<Y151-H11650317>
National Diet Library
  • Subject Heading低誘電率材料 層間絶縁膜 酸化シリコンナノポーラス薄膜 ガス中蒸発法...

半導体ナノ構造新物質の創製と機能デバイスへの応用

半導体ナノ構造新物質の創製と機能デバイスへの応用
Paper図書
森崎, 弘, 電気通信大学1996-1998<Y151-H08455138>
National Diet Library
  • Subject Headingナノ構造新物質 クラスター 低誘電率材料 多層膜反射鏡 Siドープガラス 可視領域発光

デンドリテイツク高分子を一成分とする新規複合体の作製

デンドリテイツク高分子を一成分とする新規複合体の作製
Paper図書
柿本, 雅明, 東京工業大学1999-2001<Y151-H11450353>
National Diet Library
  • Subject Headingデンドリテイツク高分子 芳香族ポリアミド 芳香族ポリイミド 直接重縮合法 ポリウレタン ポリアクリル酸 カプトン 低誘電率

マイクロ波励起プラズマによる低誘電率/高誘電率薄膜形成プロセスの研究

マイクロ波励起プラズマによる低誘電率/高誘電率薄膜形成プロセスの研究
Paper図書
平山, 昌樹, 東北大学1998-1999<Y151-H10450111>
National Diet Library
  • Subject Heading低誘電率層間絶縁膜 高誘電率膜 マイクロ波 プラズマ 半導体 プロセ...

分子内に水酸基を含まないエポキシ樹脂の開発

分子内に水酸基を含まないエポキシ樹脂の開発
Paper図書
中村, 茂夫, 神奈川大学1995-1997<Y151-H07555585>
National Diet Library
  • Subject Headingエポキシ樹脂 硬化反応 低吸水率 低誘電率 トリメチルシリル基 力学的性質 活性エステル 内部活性エス...

高速・高均一デジタルCVDを用いたULSI用高機能性薄膜の作製

高速・高均一デジタルCVDを用いたULSI用高機能性薄膜の作製
Paper図書
堀池靖浩, 東洋大学1995-1995<Y151-H05555089>
National Diet Library
  • Subject HeadingデジタルCVD ULSI 高機能性薄膜 積層層間絶縁膜 コンフオーマルCVD 低誘電率膜 時間変調プラズマ バイアススパツタ

低速イオン注入複合分子線エピタキシによる単結晶シリコン・酸化物量子構造の形成

低速イオン注入複合分子線エピタキシによる単結晶シリコン・酸化物量子構造の形成
Paper図書
深津, 晋, 東京大学1998-1999<Y151-H10555002>
National Diet Library
  • Subject Heading半導体ヘテロ構造 ワイドギヤツプ・低誘電率 非晶質シリコン酸化物障壁 エピSi/SiO2量子構造 電子...

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