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省電力LSI用高誘電率ゲート絶縁膜の薄膜スケーリング手法の構築

Paper図書

中島寛, 九州大学 [著][中島寛]2006-2007<Y151-H18360152>

National Diet Library

Subject Heading高誘電率絶縁膜 / シリコン / 電子サイクロトロン共鳴プラズマ / 省電力LSI / Hf酸化膜 / メタルゲート...

省電力LSI用高誘電率ゲート絶縁膜の自己整合プロセス開発

Paper図書

中島寛, 九州大学 [著][中島寛]2004-2005<Y151-H16360156>

National Diet Library

Subject Headingシリコン / 高誘電率絶縁膜 / 電子サイクロトロン共鳴プラズマ / 酸化膜 / 窒化膜 / 省電力LSI / Hf...

電子バーンスタイン波による電子加熱と電流駆動

Paper図書

長崎百伸, 京都大学 [著][長崎百伸]2002-2004<Y151-H14580517>

National Diet Library

Subject Heading電子サイクロトロン共鳴加熱 / 電子バーンシュタイン波 / カットオフ / モード...

窒化炭素薄膜の創製素過程におよぼす低エネルギ-イオンの照射効果

Paper図書

上條, 榮治, 龍谷大学2001-2002<Y151-H13650786>

National Diet Library

Subject Heading窒素炭素薄膜電子サイクロトロン共鳴スパツタ基板電位 N/C原子比 (N-sp^3C) / ...

大口径低電子温度ECRプラズマ源の試作

Paper図書

河合, 良信, 九州大学2000-2001<Y151-H12558046>

National Diet Library

Subject Heading電子サイクロトロン共鳴半導体大口径プラズマ低電子温度磁気ミラー高次モード...

原子状水素と表面酸化物との還元反応断面積の測定

Paper図書

相良明男, 核融合科学研究所 [著][相良明男]2002-2003<Y151-H14580529>

National Diet Library

Subject Heading原子状水素 / 還元反応 / プラズマ壁相互作用 / 電子サイクロトロン共鳴 / 解離水素 / マイクロ波 / 放電洗浄 / クロム酸化...

2段電子サイクロトロン共鳴型イオン源による短寿命核イオン価数増殖システムの開発

Paper図書

鄭, 淳讃, 高エネルギー加速器研究機構1999-2000<Y151-H11640302>

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Subject Heading電子サイクロトロン共鳴型イオン源イオン価数増殖イオン入射・取出系イオン源プラ...

炭化ケイ素のECRプラズマ酸化によるシリコンナノ粒子分散薄膜の作製とEL特性

Paper図書

後藤孝, 東北大学 [著][後藤孝]2002-2004<Y151-H14350346>

National Diet Library

Subject Heading炭化ケイ素 / 電子サイクロトロン共鳴 / ECRプラズマ酸化 / シリコンナノ粒子 / 酸素分圧...

電子サイクロトロン加熱における共鳴周波数近傍の波動の発生と伝播

Paper図書

際本, 泰士, 筑波大学1997-1998<Y151-H09480089>

National Diet Library

Subject Heading電子サイクロトロン共鳴プラズマの波動加熱非線形波動相互作用サイクロトロン放射...

ECRスパツタ法によるコバルト含有酸化鉄薄膜メデイアの低温・高速作成法の研究

Paper図書

山本, 節夫, 山口大学1999-2000<Y151-H11650349>

National Diet Library

Subject Heading電子サイクロトロン共鳴スパツタ成膜コバルト含有酸化鉄薄膜酸化鉄薄膜フエライ...

パルス励起ECRプラズマのエネルギー緩和過程に関する研究

Paper図書

秋津, 哲也, 山梨大学1998-1999<Y151-H10680454>

National Diet Library

Subject Heading反応性スパツタリング電子サイクロトロン共鳴プラズマ原子状酸素圧電性結晶圧電性微結晶薄膜出現ポテ...

電子サイクロトロン共鳴スパツタ成膜法を用いた超高密度磁気記録媒体の作製法の研究

Paper図書

山本, 節夫, 山口大学1995-1996<Y151-H07650398>

National Diet Library

Subject Heading磁気記録垂直磁気記録磁気記録媒体電子サイクロトロン共鳴スパツタリングコバルト・クロムマイクロ波プラズマ

偏極重イオン源の開発研究

Paper図書

近藤, 道也, 大阪大学1986-1987<Y151-S61460021>

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Subject Heading偏極重イオン源電子サイクロトロン共鳴ヘリウム二荷イオン荷電変換

ラジカルビーム・エピタキシの基礎過程に関する研究

Paper図書

広瀬, 全孝, 広島大学1986-1988<Y151-S61420028>

National Diet Library

Subject Headingラジカルビームエピタキシヤル成長グロー放電プラズマ電子サイクロトロン共鳴

誘電体薄膜の成長素過程に及ぼすエネルギービーム照射の影響

Paper図書

上條, 栄治, 龍谷大学1994-1995<Y151-H06650753>

National Diet Library

Subject Heading誘電体薄膜ダイヤモンド状炭素 (DLC) 薄膜 AIN薄膜複合イオンビームスパツタ法電子サイクロトロン共鳴スパツタ法エネルギービーム照射原子間力顕微鏡 (AFM)...

ホイスパリング・ギヤラリーモード用アンテナおよび大電力ビームの導波

Paper図書

中島, 将光, 京都大学1988-1990<Y151-S63880001>

National Diet Library

Subject Headingミリ波核融合電子サイクロトロン共鳴加熱ジヤイロトロンホイスパリング・ギヤラリー・モード反...

磁化プラズマにおける電磁波のモード変換現象

Paper図書

菅井, 秀郎, 名古屋大学1986-1987<Y151-S61460227>

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Subject Heading波動加熱モード変換正常波異常波バーンシユタイン波アツパーハイブリツド共鳴電子サイクロトロン共鳴レイトレーシング

電子バーンスタイン波による電子加熱と電流駆動

Digital文書・図像類

長崎, 百伸京都大学2005-03

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