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- Subject HeadingCu配線 / 極薄バリヤ / ラジカル窒化 / intermixin...
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- Subject HeadingSi半導体デバイス Cu配線材 マイクロボイド 配線信頼性
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- Subject HeadingTEG / Cu配線形成 / 硫酸銅純度 / 平均結晶粒径 / 標準偏差 / 分...
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- Subject HeadingCu配線 / ドライプロセス / 真空アーク蒸着 / 磁気輸送フィル...
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- Subject Headingコンタクト孔底部損傷 フロロカーボン ドライエツチング 壁との相互作用 ドライ洗浄 超高圧透過型電子顕微鏡 ビイア孔 Cu配線
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- Subject Headingスパツタリング 低温プロセス シリコンエピタキシヤル成長 低エネルギイオン照射 Cu配線 Al配線 超高密度LSI
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- Subject Headingメタルゲート自己整合MOSFET イオン注入層低温アニール Cu配線技術 超高速配線 エレクトロマイグレーシヨン 低エネルギイオ...
Digital博士論文
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- Subject Heading陽電子 格子欠陥 空孔 LSI Cu配線 リフロー
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