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レジスト材料の基礎とプロセス最適化
レジスト材料の基礎とプロセス最適化
紙
図書
河合晃 著
シーエムシー・リサーチ
2021.11
<YU7-R25>
国立国会図書館
著者標目(識別子)
01226447
高周波対応基板材料の開発動向と応用展開 (エレクトロニクスシリーズ)
高周波対応基板材料の開発動向と応用展開 (エレクトロニクスシリーズ)
紙
図書
河合晃 監修
シーエムシー出版
2021.2
<ND633-M79>
国立国会図書館
全国の図書館
著者標目(識別子)
01226447
レジスト材料・プロセスの使い方ノウハウとトラブル解決
レジスト材料・プロセスの使い方ノウハウとトラブル解決
紙
図書
河合晃 著
R&D支援センター
2018.3
<PA441-L160>
国立国会図書館
全国の図書館
著者標目(識別子)
01226447
最新フォトレジスト材料開発とプロセス最適化技術 (エレクトロニクスシリーズ)
最新フォトレジスト材料開発とプロセス最適化技術 (エレクトロニクスシリーズ)
紙
図書
河合晃 監修
シーエムシー出版
2017.9
<PA441-L152>
国立国会図書館
全国の図書館
著者標目(識別子)
01226447
現場で応用できるコーティングの理論と現象 : トラブルをメカニズムから考える
現場で応用できるコーティングの理論と現象 : トラブルをメカニズムから考える
紙
図書
河合晃 著
加工技術研究会
2012.10
<PA517-J57>
国立国会図書館
全国の図書館
著者標目(識別子)
01226447
欠陥を出さない!良い塗布膜を得るためのコントロール技術 (一発必中シリーズ)
欠陥を出さない!良い塗布膜を得るためのコントロール技術 (一発必中シリーズ)
紙
図書
河合晃 著
サイエンス&テクノロジー
2012.7
<PA517-J52>
国立国会図書館
著者標目(識別子)
01226447
塗膜・レジスト膜の乾燥・付着技術とトラブル対策
塗膜・レジスト膜の乾燥・付着技術とトラブル対策
紙
図書
河合晃 著
情報機構
2011.3
<PA517-J44>
国立国会図書館
全国の図書館
著者標目(識別子)
01226447
高分子集合体間の相互作用力制御に基づいた35nmサイズの微細レジストパターン開発
高分子集合体間の相互作用力制御に基づいた35nmサイズの微細レジストパターン開発
紙
図書
河合晃, 長岡技術科学大学 [著]
[河合晃]
2004-2006
<Y151-H16360171>
国立国会図書館
著者標目(識別子)
01226447
00301466
原子間力顕微鏡の微細探針を用いた100nm以下のレジストパターンの付着凝集解析
原子間力顕微鏡の微細探針を用いた100nm以下のレジストパターンの付着凝集解析
紙
図書
河合晃, 長岡技術科学大学 [著]
[河合晃]
2001-2003
<Y151-H13650373>
国立国会図書館
著者標目(識別子)
01226447
00301466
AFM探針を用いた0.1μm線幅のレジストパターン接着力の直接解析法に関する研究
AFM探針を用いた0.1μm線幅のレジストパターン接着力の直接解析法に関する研究
紙
図書
河合, 晃, 長岡技術科学大学
1998-2000
<Y151-H10650332>
国立国会図書館
著者標目(識別子)
01226447
フォトレジストと無機基板との接着機構に関する研究
フォトレジストと無機基板との接着機構に関する研究
紙
デジタル
博士論文
障害者向け資料あり
河合晃 [著]
<UT51-92-S278>
インターネットで読める
国立国会図書館
著者標目(識別子)
01226447
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