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反応性スパツタ
リング法による導電性Rh酸化物薄膜の作製とその物性
反応性スパツタリング法による導電性Rh酸化物薄膜の作製とその物性
紙
図書
阿部, 良夫, 北見工業大学
1999-2000
<Y151-H11650311>
国立国会図書館
件名
反応性スパツタ
リング 導電性酸化物薄膜
チタン窒化物ナノコンポジット磁性薄膜の作製と評価
チタン窒化物ナノコンポジット磁性薄膜の作製と評価
紙
図書
橋本満, 電気通信大学
2000-2001
<Y151-H12650656>
国立国会図書館
件名
反応性スパツタ
ー Co-TiN薄膜 ナノコンポシツト薄膜
スパッタリング法による電気化学的に活性な水和酸化物及び水酸化物薄膜の作製
スパッタリング法による電気化学的に活性な水和酸化物及び水酸化物薄膜の作製
紙
図書
阿部良夫, 北見工業大学 [著]
[阿部良夫]
2006-2007
<Y151-H18560297>
国立国会図書館
件名
反応性スパッタ
リング / 水和酸化物 / 水酸化物 / 固体電解質薄膜 /...
反応性スパッタ
法による透明p型導電性三元酸化物の薄膜作製と評価
反応性スパッタ法による透明p型導電性三元酸化物の薄膜作製と評価
紙
図書
坪井望, 新潟大学 [著]
[坪井望]
2004-2005
<Y151-H16560270>
国立国会図書館
件名
デラフォサイト / CuAlO_2 / 透明導電性酸化物 / p形酸化物 / 薄膜 /
反応性スパッタ
/ スパッタ / レーザアニール
酸化鉄をベースとする循環型新規ナノデバイスの開発
酸化鉄をベースとする循環型新規ナノデバイスの開発
紙
図書
藤井達生, 岡山大学 [著]
[藤井達生]
2002-2004
<Y151-H14350353>
国立国会図書館
件名
酸化物磁性半導体 / イルメナイト / ヘマタイト /
反応性スパッタ
法 / 交換結合膜 / 積層膜 / フェリ磁性
酸素欠陥を有するセラミツクスの気相電解有機合成反応への応用
酸素欠陥を有するセラミツクスの気相電解有機合成反応への応用
紙
図書
竹平, 勝臣, 広島大学
2000-2002
<Y151-H12309006>
国立国会図書館
件名
固体電解質 酸素格子欠陥 メンブレンリアクタ- 格子酸素 炭化水素部分参加
反応性スパツタ
リング
2D-3D型新規酸化物超伝導薄膜デバイス
2D-3D型新規酸化物超伝導薄膜デバイス
紙
図書
高井吉明, 名古屋大学
1998-1999
<Y151-H10650056>
国立国会図書館
件名
2D-3D型高温超伝導トランジスタ
反応性スパツタ
リング Pt/YBCO/Pt
シリコン基板上に界面制御して形成した単結晶強誘電体薄膜の作製
シリコン基板上に界面制御して形成した単結晶強誘電体薄膜の作製
紙
図書
堀田, 將, 北陸先端科学技術大学院大学
2000-2001
<Y151-H12650305>
国立国会図書館
件名
イツトリア安定化ジルコニア YSZ
反応性スパツタ
シリコン Si ヘシロエピタオシヤル 誘電率
プラズマスパッタリングにおける光誘起表面反応プロセスの解明
プラズマスパッタリングにおける光誘起表面反応プロセスの解明
紙
図書
浜口智志, 大阪大学 [著]
[浜口智志]
2005-2006
<Y151-H17340174>
国立国会図書館
件名
プラズマ / エッチング /
反応性スパッタ
リング / 紫外線照射 / 分子動力学シミュレーション / ...
RFスパッタ法による3族窒化物半導体薄膜の作製とその特性に関する研究
RFスパッタ法による3族窒化物半導体薄膜の作製とその特性に関する研究
紙
図書
宮崎卓幸, 群馬大学 [著]
[宮崎卓幸]
2002-2003
<Y151-H14550288>
国立国会図書館
件名
反応性スパッタ
リング / 窒化物半導体 / InN / GaN / 光学的...
反応性スパツタ
リング法による超硬質多元系窒化物薄膜の高精度組成コントロール
反応性スパツタリング法による超硬質多元系窒化物薄膜の高精度組成コントロール
紙
図書
小寺澤, 啓司, 姫路工業大学
1998-1999
<Y151-H10650096>
国立国会図書館
件名
窒化チタン
反応性スパツタ
リング プロセス制御 分光分析 二源スパツタリング
TiN被覆ステンレス鋼のピンホール欠陥と耐食性評価
TiN被覆ステンレス鋼のピンホール欠陥と耐食性評価
紙
図書
内田, 仁, 姫路工業大学
1996-1997
<Y151-H08650118>
国立国会図書館
件名
窒化物薄膜 高周波
反応性スパツタ
リング ピンホール欠陥 分極曲線
酸化物の
反応性スパツタ
リング過程に関する研究
酸化物の反応性スパツタリング過程に関する研究
紙
図書
松田, 良信, 長崎大学
1999-2001
<Y151-H11680488>
国立国会図書館
件名
反応性スパツタ
リング 酸化物薄膜 MgO 金属モード 酸化物モード ヒステ...
反応性スパッタ
法による窒化3-5族半導体の作製及びその特性に関する研究
反応性スパッタ法による窒化3-5族半導体の作製及びその特性に関する研究
紙
図書
宮崎卓幸, 群馬大学
1999-2000
<Y151-H11650312>
国立国会図書館
件名
窒化物半導体
反応性スパツタ
リング 非晶質半導体 分光エリプソメータ 誘電率 光学的性質...
パルス励起ECRプラズマのエネルギー緩和過程に関する研究
パルス励起ECRプラズマのエネルギー緩和過程に関する研究
紙
図書
秋津, 哲也, 山梨大学
1998-1999
<Y151-H10680454>
国立国会図書館
件名
反応性スパツタ
リング 電子サイクロトロン共鳴プラズマ 原子状酸素 圧電性結...
反応性スパツタ
リング法による非晶質薄膜の合成及び材料設計
反応性スパツタリング法による非晶質薄膜の合成及び材料設計
紙
図書
安井, 至, 東京大学
1992-1993
<Y151-H04453063>
国立国会図書館
件名
反応性スパツタ
リング 薄膜 2成分ターゲツト 非晶質 材料設計 ケイ化物 ...
界面制御した酸化物薄膜のシリコン基板上へのヘテロエピタキシヤル成長
界面制御した酸化物薄膜のシリコン基板上へのヘテロエピタキシヤル成長
紙
図書
堀田, 將, 北陸先端科学技術大学院大学
1995-1996
<Y151-H07650362>
国立国会図書館
件名
イツトリア安定化ジルコニア シリコン ヘテロエピタキシヤル成長
反応性スパツタ
スパツタリング 誘電体
金属・窒化物系傾斜機能薄膜による材料表面改質に関する研究
金属・窒化物系傾斜機能薄膜による材料表面改質に関する研究
紙
図書
小寺澤, 啓司, 姫路工業大学
1992-1993
<Y151-H04650071>
国立国会図書館
件名
高周波
反応性スパツタ
リング 傾斜機能薄膜 発光分光 質量分析 オージエ電子分光法
界面制御によるシリコン基板上への強誘電体薄膜のヘテロエピタキシヤル成長
界面制御によるシリコン基板上への強誘電体薄膜のヘテロエピタキシヤル成長
紙
図書
堀田, 将, 北陸先端科学技術大学院大学
1997-1998
<Y151-H09450125>
国立国会図書館
件名
ジルコン酸チタン酸鉛 シリコン 強誘電体 イツトリア安定化ジルコニア
反応性スパツタ
リング ヘテロエピタキシヤル成長 強誘電体メモリ
超硬質窒化物多層薄膜による材料表面改質に関する研究
超硬質窒化物多層薄膜による材料表面改質に関する研究
紙
図書
小寺澤, 啓司, 姫路工業大学
1990-1991
<Y151-H02650059>
国立国会図書館
件名
窒化物薄膜 高周波
反応性スパツタ
リング法 酸化挙動 窒化チタン 窒化アルミニウム
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