検索結果 18 件
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- 件名高誘電率絶縁膜 / シリコン / 電子サイクロトロン共鳴プラズマ / 省電力LSI / Hf酸化膜 / メタルゲート...
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- 件名シリコン / 高誘電率絶縁膜 / 電子サイクロトロン共鳴プラズマ / 酸化膜 / 窒化膜 / 省電力LSI / Hf...
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- 件名原子状水素 / 還元反応 / プラズマ壁相互作用 / 電子サイクロトロン共鳴 / 解離水素 / マイクロ波 / 放電洗浄 / クロム酸化...
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- 件名炭化ケイ素 / 電子サイクロトロン共鳴 / ECRプラズマ酸化 / シリコンナノ粒子 / 酸素分圧...
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- 件名磁気記録 垂直磁気記録 磁気記録媒体 電子サイクロトロン共鳴 スパツタリング コバルト・クロム マイクロ波プラズマ
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- 件名誘電体薄膜 ダイヤモンド状炭素 (DLC) 薄膜 AIN薄膜 複合イオンビームスパツタ法 電子サイクロトロン共鳴スパツタ法 エネルギービーム照射 原子間力顕微鏡 (AFM)...
デジタル規格・テクニカルリポート類
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- 件名モード変換 電子サイクロトロン共鳴加熱 カットオフ 電子バーンシュタイン波 非誘導電流駆動 c...