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検索結果 9 件

絶縁プロ-ブ法によるRF放電プラズマのモニタリングにおける検出感度の改善

絶縁プロ-ブ法によるRF放電プラズマのモニタリングにおける検出感度の改善
紙図書
出口, 幹雄, 新居浜工業高等専門学校2001-2002<Y151-H13650058>
国立国会図書館
  • 件名RFプラズマ 反応性プラズマ プロ-ブ モニタリング 絶縁プロ-ブ法 プ...

PDP用高周波駆動マイクロプラズマセルの開発

PDP用高周波駆動マイクロプラズマセルの開発
紙図書
真壁, 利明, 慶応義塾大学1997-1999<Y151-H09450146>
国立国会図書館
  • 件名rfプラズマ 体積 (サイズ) 効果 RCTモデル プラズマデイスプレイ...

イオンを含む粒子の質量分析法と発光分光時空分解法によるプロセスプラズマの同時診断

イオンを含む粒子の質量分析法と発光分光時空分解法によるプロセスプラズマの同時診断
紙図書
伊藤, 秀範, 室蘭工業大学1997-1998<Y151-H09650338>
国立国会図書館
  • 件名プラズマ診断 RFプラズマ 発光分光法 質量分析法 同時診断 時空分解 イメージインテ...

プロセスプラズマ内の負イオンのカイネテイツクスに関する研究

プロセスプラズマ内の負イオンのカイネテイツクスに関する研究
紙図書
河野, 明廣, 名古屋大学1993-1994<Y151-H05452187>
国立国会図書館
  • 件名負イオン SF6 NF3 RFプラズマ 光脱離 マススペクトル マイクロ波空洞共振法 電子密度

傾斜機能材料用の超微粒子製造装置の開発

傾斜機能材料用の超微粒子製造装置の開発
紙図書
本多, 卓也, 東京工業大学1990-1991<Y151-H02453110>
国立国会図書館
  • 件名傾斜機能材料 超微粒子 アークプラズマ RFプラズマ シミユレーシヨン

プラズマプロセス用大面積プラズマの生成

プラズマプロセス用大面積プラズマの生成
紙図書
佐藤, 徳芳, 東北大学1995-1995<Y151-H07044308>
国立国会図書館
  • 件名大口径プラズマ 均一プラズマ ECRプラズマ RFプラズマ マグネトロン型プラズマ ヘリコン波 誘導結合プラズマ ラジ...

次世代ドライエツチ用,狭ギヤツプVHFエツチヤの物理とプロセス最適制御

次世代ドライエツチ用,狭ギヤツプVHFエツチヤの物理とプロセス最適制御
紙図書
真壁, 利明, 慶応義塾大学1993-1994<Y151-H05452106>
国立国会図書館
  • 件名ドライエツチング プラズマプロセス 狭ギヤツプ・RIE VHPプラズマ 非平衡プラズマ モデリング 微粒子成長 rfプラズマ

低周波50HzプラズマCVD法によるカーボン薄膜の低温形成プロセスの開発

低周波50HzプラズマCVD法によるカーボン薄膜の低温形成プロセスの開発
紙図書
下妻, 光夫, 北海道大学1990-1992<Y151-H02555056>
国立国会図書館
  • 件名低周波プラズマCVD法 CH4+H2混合ガス ドライプロセス 薄膜堆積 アモルフアスカーボン膜 ダイヤモンド薄膜 半導体低温プロセス RFプラズマCVD法

低周波反応性プラズマのハイブリツド最適制御

低周波反応性プラズマのハイブリツド最適制御
紙図書
真壁, 利明, 慶応義塾大学1988-1989<Y151-S63550220>
国立国会図書館
  • 件名低周波プラズマ 反応性プラズマ CH4 H2プラズマ 時間、空間分解発光分光分析 RFプラズマのモデリング デポジシヨン 炭素薄膜 低周波放電構造

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