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水蒸気プラズマと固体ソースプラズマを用いた蛍石のドライエッチング技術の基礎研究

Paper図書

松谷晃宏, 東京工業大学 [著][松谷晃宏]2006-2007<Y151-H18510108>

National Diet Library

Subject Headingプラズマ / 水蒸気 / 蛍石 / ドライエッチング / 固体ソース

色素を用いない新しい発色技術の開発-酸化チタン基板への応用-

Paper図書

岩木, 龍一, 熊本電波工業高等専門学校1999-2000<Y151-H11650365>

National Diet Library

Subject Heading構造性発色光触媒ドライエツチング微細加工周期構造

量子ナノ構造を用いる低消費電力・高機能単一波長半導体レーザの研究

Paper図書

荒井滋久, 東京工業大学 [著][荒井滋久]2005-2007<Y151-H17206010>

National Diet Library

Subject Heading半導体レーザ / 量子細線レーザ / DFBレーザ / 分布反射型レーザ / GaInAsP混晶 / 電子線リソグラフィ / 低損傷ドライエッチング / 半導体薄膜レーザ

レーザー冷却法を用いた異方性ドライエツチングプロセスの開発

Paper図書

安武, 潔, 大阪大学1997-1999<Y151-H09555046>

National Diet Library

Subject Heading半導体ドライエツチング Fラジカルビームレーザー冷却 NF3プラズマレーザーコ...

細線状活性層による低電流・高効率分布反射型レ-ザの研究

Paper図書

荒井, 滋久, 東京工業大学2000-2002<Y151-H12555098>

National Diet Library

Subject Heading半導体レ-ザ単一波長レ-ザ分布反射型レ-ザ分布帰還レ-ザ GalnAsP混晶電子線リソグラフイ- 極微構造形成法ドライエツチング

ULSI極微細・高アスペクト比孔の低損傷形成研究

Paper図書

堀池, 靖浩, 東京大学1999-2001<Y151-H11555179>

National Diet Library

Subject Headingコンタクト孔底部損傷フロロカーボンドライエツチング壁との相互作用ドライ洗浄超高圧透過型電子顕微鏡ビイア...

気相雰囲気における半導体表面プロセスのイオンビームその場計測法の開拓

Paper図書

尾浦, 憲治郎, 大阪大学1999-2001<Y151-H11305006>

National Diet Library

Subject Heading気相雰囲気下半導体表面プロセス CAICISS TOF-ERDA 表面水素水素サーフアクタント効果イオンビームその場計測気相成長ドライエツチング

歪補償低次元量子構造を用いる高性能レーザと新機能光デバイスの研究

Paper図書

荒井滋久, 東京工業大学 [著][荒井滋久]2001-2003<Y151-H13305021>

National Diet Library

Subject Heading半導体レーザ / 量子細線レーザ / 歪量子細線レーザ / 多重極微共振器レーザ / GalnAsP混晶 / 電子線リソグラフィー / 有機金属気相成長法 / ドライエッチング

フォトニック結晶特性の作製後チューニング技術に関する研究

Paper図書

永沼充, 帝京科学大学 [著][永沼充]2002-2003<Y151-H14550337>

National Diet Library

Subject Headingフォトニック結晶 / 2次元構造 / 半導体ピラー / チューニング技術 / レーザ発振 / オートクローニング法 / ドライエッチングダメージ / フォトニックバンドギャップ

原子層エツチング技術の開発研究

Paper図書

目黒, 多加志, 理化学研究所1992-1993<Y151-H04452097>

National Diet Library

Subject Headingガリウム砒素塩素ドライエツチング原子層デジタルエツチング自動停止

高誘電率フォトニック結晶ゲル及びセラミックスの低温合成と電気・光学結合特性

Paper図書

桑原誠, 東京大学 [著][桑原誠]2000-2002<Y151-H12305042>

National Diet Library

Subject Headingセラミックフォトニック結晶 / チタニア / チタン酸バリウム / ゾル-ゲル法 / 金属アルコキシド / レジストモールド / 電子ビームリソグラフィ / ドライエッチング

二軸性歪を有する半導体量子細線・量子箱構造の試作およびその光デバイス応用

Paper図書

荒井, 滋久, 東京工業大学1998-2000<Y151-H10450115>

National Diet Library

Subject Heading半導体レーザ量子細線レーザ歪量子細線レーザ多重極微共振器レーザ GaInAsP混晶電子線リソグラフイー有機金属気相成長法ドライエツチング

走査プローブプラズマエツチング

Paper図書

細田, 直江, 東京大学1998-1999<Y151-H10650053>

National Diet Library

Subject Headingウエハプローブカードプローブプラズマエツチング MEMS 高真空走査型プローブ顕微鏡ドライエツチングマイクロプラズママイクロ走査型力顕微鏡プローブ

次世代ドライエツチ用,狭ギヤツプVHFエツチヤの物理とプロセス最適制御

Paper図書

真壁, 利明, 慶応義塾大学1993-1994<Y151-H05452106>

National Diet Library

Subject Headingドライエツチングプラズマプロセス狭ギヤツプ・RIE VHPプラズマ非平...

圧縮歪超格子を用いる長波長帯量子細線半導体レーザに関する基礎研究

Paper図書

荒井, 滋久, 東京工業大学1993-1994<Y151-H05452184>

National Diet Library

Subject Heading半導体レーザ量子細線量子箱歪量子井戸電子ビーム露光法 ECRドライエツチング法自然放出光キヤリア捕獲時間

歪量子細線を用いる多重極微共振器半導体レーザに関する研究

Paper図書

荒井, 滋久, 東京工業大学1995-1996<Y151-H07455418>

National Diet Library

Subject Heading半導体レーザ量子細線レーザ歪量子細線レーザ多重極微共振器レーザ GaInAsP混晶電子線リソグラフイー有機金属気相成長法ドライエツチング

多次元量子井戸構造による超高速光デバイスの研究

Paper図書

浅田, 雅洋, 東京工業大学1988-1990<Y151-S63850059>

National Diet Library

Subject Heading多次元量子井戸レーザ超高速光デバイス CaInAs/InP 量子細線量子箱交差型光スイツチ低損傷ドライエツチング

超微細構造GaInAs/InPデバイス作製技術に関する研究

Paper図書

古屋, 一仁, 東京工業大学1988-1989<Y151-S63850077>

National Diet Library

Subject Heading極微細構造有機金属気相成長法電子ビーム露光法化学エツチング電子波反射ドライエツチング量子細線レーザ OMVPE埋め込み成長

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