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National Diet LibraryOther Libraries in Japan
- Subject Headingリソグラフィー
- Authority(Subject Heading/altLabel)フォトリソグラフィー フォトエッチング Lithography 電子ビームリソグラフィー
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- Toc / Article【第Ⅰ編 ロードマップとリソグラフィ・フォトレジストの基礎】 第1......程)の進化 5 結言 第2章 リソグラフィの基礎 1 はじめに 2 リソグラフィ工程 3 露光 4 照明 5 ......液浸レジストの進展 3 EUVリソグラフィ向け化学増幅型レジスト技術 4 EUVリソグラフィにおける他のレジストアプローチ......UVレジスト】 第1章 EUVリソグラフィの現状と今後の展開 2 EUVリソグラフィの技術課題 3 EUVレジスト......olor) 第3章 自己組織化リソグラフィ 2 誘導自己組織化(DSA)リソグラフィ技術の背景 3 DSAリソグラフィ用ブロック共重合体(BCP) ......ジストの解析・評価】 第1章 リソグラフィーシミュレーションを利用したレ......光性樹脂の現像特性の評価 4 リソグラフィーシミュレーションを利用したプ......・現像装置の例 3 先端EUVリソグラフィの課題 4 化学増幅型EUVレ......レジスト倒壊防止技術 4.3 リソグラフィとエッチングの連携による化学増......第2章 EUV光源 2 EUVリソグラフィ 2.1 EUVリソグラフィと開発の経緯 2.2 世界の露光装置開発と市場の現況 3 高...
- Summary, etc.IoTや5Gの社会実装に伴い研究が進むフォトレジストとリソグラフィ技術をまとめた一冊。ロードマップや材料開発,EUVレジストな...
- Subject Heading感光性樹脂 リソグラフィー
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- Toc / Article目次 【総括編】 1. レジスト&リソグラフィ関連市場の全体展望/ 3 2.......スト関連材料/ 6 2-3) リソグラフィ関連部材/ 7 3. 分野別市......ト関連材料/ 19 3-3) リソグラフィ関連部材/ 23 4. 液状レ......離液・残渣除去剤/ 204 【リソグラフィ関連部材編】 1. 半導体用フォトマスク/ 215 2. 液...
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- Contents内容紹介:半導体チップの微細回路を生み出すキーテクノロジー「リソグラフィ」技術をわかりやすく解説した入門書。プロセスフローを例にして...
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- Summary, etc.電子線リソグラフィのノウハウを解説
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