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低誘電率・高絶縁耐力プラズマ堆積a-C:F膜による機器絶縁の軽量化と耐電圧向上

Paper図書

酒井洋輔, 北海道大学 [著][酒井洋輔]2005-2007<Y151-H17360121>

National Diet Library

Subject Heading絶縁膜 / プラズマCVD / パーフルオロカーボン / 低誘電率 / 絶縁耐力 / a-C : F膜

低誘電率・低誘電正接を有する次世代感光性有機層間絶縁膜の開発

Paper図書

上田充, 東京工業大学 [著][上田充]2002-2003<Y151-H14350484>

National Diet Library

Subject Heading感光性ポリマー / 耐熱性 / 低誘電性 / 低誘電損失 / 全脂環式感光性ポリイミド / 感光性ポリ (ナフタ...

シリコンチップ間超高速グローバルインタコネクト研究

Paper図書

吉川公麿, 広島大学 [著][吉川公麿]2003-2005<Y151-H15206041>

National Diet Library

Subject Heading低誘電率層間絶縁膜 / 配線 / ワイヤレス / インターコネクト...

高耐熱性低誘電率層間絶縁膜に関する研究

Paper図書

原, 徹, 法政大学2000-2002<Y151-H12650323>

National Diet Library

Subject Heading超LSI高速化多層配線層低誘電率層間膜耐熱性向上定着力向上界面反応

ミリ波帯通信用の新しい高Q誘電体の材料開発とナノ結晶構造解析

Paper図書

小川宏隆, 名城大学 [著][小川宏隆]2003-2005<Y151-H15360353>

National Diet Library

Subject Headingマイクロ波誘電体 / ナノ結晶構造解析 / コランダム系材料 / 低誘電率材料 / LTCC / 高Q / セラミック

ケイ素化合物の特性制御による新規光電機能材料設計指針の確立

Paper図書

川上雄資, 北陸先端科学技術大学院大学 [著][川上雄資]2004-2007<Y151-H16205016>

National Diet Library

Subject Headingシロキサン / シルセスキオキサン / 特異構造 / X線構造解析 / 半導体封止材料 / 耐熱材料 / 低誘電率材料 / ホログラフィ材料

ナノポ-ラス/有機構造低誘電率膜と金属電極の界面制御

Paper図書

吉川, 公麿, 広島大学1999-2001<Y151-H11450126>

National Diet Library

Subject Heading低誘電率膜有機膜多層配線集積回路銅配線ポ-ラス金属電極...

非芳香族多脂環構造ポリイミドの合成と物性評価

Paper図書

松本利彦, 東京工芸大学 [著][松本利彦]2000-2002<Y151-H12650890>

National Diet Library

Subject Headingポリイミド / 非芳香族 / 多脂環構造 / 脂肪族 / 脂環式 / 無色透明 / 屈折率 / 低誘電率

窒素ラデイカル・スパツタ法によるアモルフアス窒化炭素の創製と光伝導等への応用

Paper図書

仁田, 昌二, 岐阜大学2001-2002<Y151-H13650008>

National Diet Library

Subject Heading窒化炭素光伝導体低誘電率媒体重粒子の検出光感度レイヤ-・バイ・レイヤ-法薄...

酸化シリコンナノポーラス薄膜の低誘電率材料への応用

Paper図書

内田, 和男, 電気通信大学1999-2000<Y151-H11650317>

National Diet Library

Subject Heading低誘電率材料層間絶縁膜酸化シリコンナノポーラス薄膜ガス中蒸発...

半導体ナノ構造新物質の創製と機能デバイスへの応用

Paper図書

森崎, 弘, 電気通信大学1996-1998<Y151-H08455138>

National Diet Library

Subject Headingナノ構造新物質クラスター低誘電率材料多層膜反射鏡 Siドープガラス可視領域発光

デンドリテイツク高分子を一成分とする新規複合体の作製

Paper図書

柿本, 雅明, 東京工業大学1999-2001<Y151-H11450353>

National Diet Library

Subject Headingデンドリテイツク高分子芳香族ポリアミド芳香族ポリイミド直接重縮合法ポリウレタンポリアクリル酸カプトン低誘電率

マイクロ波励起プラズマによる低誘電率/高誘電率薄膜形成プロセスの研究

Paper図書

平山, 昌樹, 東北大学1998-1999<Y151-H10450111>

National Diet Library

Subject Heading低誘電率層間絶縁膜高誘電率膜マイクロ波プラズマ半導体プロ...

分子内に水酸基を含まないエポキシ樹脂の開発

Paper図書

中村, 茂夫, 神奈川大学1995-1997<Y151-H07555585>

National Diet Library

Subject Headingエポキシ樹脂硬化反応低吸水率低誘電率トリメチルシリル基力学的性質活性エステル内部活性エ...

高速・高均一デジタルCVDを用いたULSI用高機能性薄膜の作製

Paper図書

堀池靖浩, 東洋大学1995-1995<Y151-H05555089>

National Diet Library

Subject HeadingデジタルCVD ULSI 高機能性薄膜積層層間絶縁膜コンフオーマルCVD 低誘電率膜時間変調プラズマバイアススパツタ

低速イオン注入複合分子線エピタキシによる単結晶シリコン・酸化物量子構造の形成

Paper図書

深津, 晋, 東京大学1998-1999<Y151-H10555002>

National Diet Library

Subject Heading半導体ヘテロ構造ワイドギヤツプ・低誘電率非晶質シリコン酸化物障壁エピSi/SiO2量子構造電...

ポリイミドの高機能設計と応用技術

Paper図書

執筆者：57名著・文・その他, 技術情報協会編集技術情報協会2024-12-23

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