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光量子干渉効果を利用した極限超解像光リソグラフィー

光量子干渉効果を利用した極限超解像光リソグラフィー
Paper図書
渋谷眞人, 東京工芸大学 [著][渋谷眞人]2003-2004<Y151-H15560036>
National Diet Library
  • Subject Heading超解像 / 量子光学 / 光リソグラフィー

VUVマイクロ加工

VUVマイクロ加工
Paper図書
杉村博之, 京都大学 [著][杉村博之]2005-2007<Y151-H17206073>
National Diet Library
  • Subject Heading微細加工 / 真空紫外光 / 表面処理 / 有機材料 / 光リソグラフィ / エキシマランプ / 接合 / 光化学

軸対称回転体の側表面上への光リソグラフィ技術に関する研究

軸対称回転体の側表面上への光リソグラフィ技術に関する研究
Paper図書
堀内敏行, 東京電機大学 [著][堀内敏行]2005-2006<Y151-H17560036>
National Diet Library
  • Subject Heading光リソグラフィ / リソグラフィ / 軸対称回転体 / 側表面 / 露光 ...

光/ナノプロ-ブ統合化リソグラフイ

光/ナノプロ-ブ統合化リソグラフイ
Paper図書
杉村, 博之, 名古屋大学2000-2002<Y151-H12555197>
National Diet Library
  • Subject Heading自己組織化単分子膜 有機シラン 光リソグラフイ 走査型プロ-ブ顕微鏡

157nm光リソグラフイー用光学ガラス材料の開発

157nm光リソグラフイー用光学ガラス材料の開発
Paper図書
生嶋, 明, 豊田工業大学2000-2001<Y151-H12355025>
National Diet Library
  • Subject Headingシリカガラス 光リソグラフイー 構造緩和 ガラス転移 エキシマレーザー

次世代光リソグラフイーの真空紫外光学材料応用フツ化物単結晶の開発

次世代光リソグラフイーの真空紫外光学材料応用フツ化物単結晶の開発
Paper図書
福田, 承生, 東北大学2000-2001<Y151-H12555001>
National Diet Library
  • Subject HeadingLiCaAlF6 KMgF3 BaLiF3 F2レーザー 光リソグラフイー 硝材 真空紫外域 単結晶

単分子膜リソグラフィによる分子組織体と半導体回路の融合化

単分子膜リソグラフィによる分子組織体と半導体回路の融合化
Paper図書
杉村博之, 京都大学, 名古屋大学 [著][杉村博之]2002-2004<Y151-H14205107>
National Diet Library
  • Subject Heading自己組織化単分子膜 / 有機シラン / 光リソグラフィ / レーザーリソグラフィ / ナノリソグラフィ / 原子間...

ロボツトの指関節用および精密機器用マイクロ回転エンコーダの試作

ロボツトの指関節用および精密機器用マイクロ回転エンコーダの試作
Paper図書
羽根, 一博, 東北大学1999-2001<Y151-H11355018>
National Diet Library
  • Subject Headingロータリーエンコーダ ロボツト用エンコーダ 非平面リソグラフイ 光リソグラフイ 光エンコーダ

遺伝子導入による細胞設計と生体分子固定化による材料設計を総合した細胞培養系の構築

遺伝子導入による細胞設計と生体分子固定化による材料設計を総合した細胞培養系の構築
Paper図書
伊藤, 嘉浩, 徳島大学1999-2001<Y151-H11558108>
National Diet Library
  • Subject Heading成長因子固定化 ヘパリン固定化 ゼラチン固定化 光リソグラフイ 細胞成長 細胞分化 細胞培養系 バイオマテリアル

AFM探針を用いた0.1μm線幅のレジストパターン接着力の直接解析法に関する研究

AFM探針を用いた0.1μm線幅のレジストパターン接着力の直接解析法に関する研究
Paper図書
河合, 晃, 長岡技術科学大学1998-2000<Y151-H10650332>
National Diet Library
  • Subject Heading原子間力顕微鏡 光リソグラフイー フオトレジストパターン 接着力 有限要素法 摩擦力 凝集...

アキシコン・デバイスを用いた長焦点深度・走査結像光学システムの開発

アキシコン・デバイスを用いた長焦点深度・走査結像光学システムの開発
Paper図書
河田, 聡, 大阪大学1991-1993<Y151-H03555007>
National Diet Library
  • Subject Headingアキシコン 0次ベツセルビーム 収差 光リソグラフイ ゾーンプレート 回折格子

3次元計測データに基づく光硬化法による樹脂モデル製作に関する研究

3次元計測データに基づく光硬化法による樹脂モデル製作に関する研究
Paper図書
吉澤, 徹, 東京農工大学1993-1994<Y151-H05650108>
National Diet Library
  • Subject Heading光リソグラフイ 樹脂モデル 3次元形状計測 光硬化性樹脂 硬化過程の解析 ...

極端紫外光リソグラフイ用薄膜の最適設計と分光エリプソメトリによるその評価法の研究

極端紫外光リソグラフイ用薄膜の最適設計と分光エリプソメトリによるその評価法の研究
Paper図書
山口, 十六夫, 静岡大学1997-1999<Y151-H09650048>
National Diet Library
  • Subject Heading極端紫外光リソグラフイ 超解像マスク 単層ハーフトーン位相シフトマスク a-SiN...

自己集積化単分子膜の微細加工と金ナノ粒子アレイ構築

自己集積化単分子膜の微細加工と金ナノ粒子アレイ構築
Digital博士論文
Yang, Jeong Hyeon京都大学 (Kyoto University)2012-03-26
Available onlineOther Libraries in Japan
  • Subject Heading...ayer 金ナノ粒子 真空紫外光リソグラフィー 走査プローブリソグラフィ 自己集積化単分子膜

金属/誘電体極薄膜多層系メタ物質を用いた可視光域でのサブ波長イメージングの実現

金属/誘電体極薄膜多層系メタ物質を用いた可視光域でのサブ波長イメージングの実現
Digitalその他
冨田, 知志奈良先端科学技術大学院大学2009
Available onlineOther Libraries in Japan
  • Subject Headingメタマテリアル ナノ光学 サブ波長イメージング 金属誘電体多層薄膜 表面プラズモンポラリトン 全反射減衰法 光トンネリング 光リソグラフィ

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