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プラスチックフィルム基板上への低抵抗・高密着性透明導電膜の高速成膜技術の開発

Paper図書

星陽一, 東京工芸大学 [著][星陽一]2004-2005<Y151-H16560281>

National Diet Library

Subject Heading透明導電膜 / スパッタ法 / プラスチック基板 / 低温成膜 / 応力フリー / 低ダメージ / 高速成膜 / ITO

ダイヤモンド・立方晶AlN積層構造を用いた超高速表面弾性波素子の研究

Paper図書

犬島, 喬, 東海大学1999-2000<Y151-H11650332>

National Diet Library

Subject HeadingSAWフイルタダイヤモンド AlN 薄膜作成法 MOCVD ECR共鳴点成膜法低温成膜ラム波

高性能アモルファスシリコンカーバイド(SiC)の超高速成膜に関する研究

Paper図書

芳井熊安, 大阪大学 [著][芳井熊安]2001-2003<Y151-H13450058>

National Diet Library

Subject Heading大気圧プラズマCVD / アモルファスSiC / 超高速成膜

LSI内微細銅配線のためのプラズマ異方性CVD

Paper図書

白谷正治, 九州大学 [著][白谷正治]2002-2003<Y151-H14350021>

National Diet Library

Subject Heading銅配線 / プラズマCVD / 異方性成膜 / LSI / 水素原子 / イオン照射

強磁場印加した熱CVD法による高配向鉄膜の作製

Paper図書

吉川, 昇, 東北大学2000-2001<Y151-H12650687>

National Diet Library

Subject HeadingCVD 鉄薄膜強磁場結晶配向組織成膜速度磁気特性

エアロゾルデポジション法による高性能厚膜磁石の高速成形

Paper図書

杉本諭, 東北大学 [著][杉本諭]2003-2005<Y151-H15360378>

National Diet Library

Subject Headingエアロゾルデポジション / 厚膜 / 永久磁石 / 異方性 / 残留磁化 / 保磁力 / 成膜速度 / 膜密度

高速固体粒子の衝突変形による革新部材創製技術コールドスプレー法の確立

Paper図書

福本昌宏, 豊橋技術科学大学 [著][福本昌宏]2006-2007<Y151-H18360352>

National Diet Library

Subject Headingコールドスプレー / 非溶融粒子 / 高速粒子衝突 / 高速成膜プロセス / ガス温度 / ガス圧力 / 付着効率 / 基材...

植物の液胞膜プロトンポンプの再構成膜系を用いての低温ストレス機構の解明

Paper図書

笠毛, 邦弘, 岡山大学1999-2001<Y151-H11440237>

National Diet Library

Subject Heading液胞膜プロトンポンプ再構成膜膜流動性プロトン輸送低温ストレス

レーザープラズマ軟X線光源を用いた超高分解能多元物質顕微鏡の開発

Paper図書

山本正樹, 東北大学 [著][山本正樹]2003-2007<Y151-H15002001>

National Diet Library

Subject Heading軟X線 / 多層膜 / 顕微鏡 / レーザープラズマ / 周期膜厚分布制御 / スパッタリング / エリプソメーター / 成膜レートモニター

熱CVD装置設計のためのグローバルプロセス解析

Paper図書

佐藤, 恒之, 九州大学1998-1999<Y151-H10650749>

National Diet Library

Subject HeadingCVD シミユレーシヨンシリコンエピタキシー成膜速度枚葉式

マルチフイ-ダ-式パウダ-ジエツト加工法の開発と除去・付着加工のメカニズム変化

Paper図書

厨川, 常元, 東北大学2001-2002<Y151-H13450051>

National Diet Library

Subject Headingアブレイシブジエツト加工微粒子パウダ-ジエツト付着加工材料除去マルチフイ-ダ- 成膜傾斜組成

高周波スパツタ蒸着法による多結晶半導体およびダイヤモンド薄膜の低温成膜

Paper図書

芳井, 熊安, 大阪大学1995-1996<Y151-H07455065>

National Diet Library

Subject HeadingSi薄膜多結晶低温成膜高周波スパツタ蒸着法

インテリジエント界面システムの構築と応用に関する研究

Paper図書

古崎, 新太郎, 東京大学1995-1996<Y151-H07305036>

National Diet Library

Subject Heading生体膜合成膜物質認識信号伝達選択輸送

超音波界面制御プロセスを用いた超砥粒電着砥石の砥粒保持力向上化

Paper図書

奥宮正洋, 豊田工業大学 [著][奥宮正洋]2002-2003<Y151-H14550715>

National Diet Library

Subject Heading超音波 / cBN / 無電解Ni-Pめっき / 成膜速度 / 交換電流密度 / 分極測定 / 微小硬さ試験機 /...

イオン照射による薄膜用基板の表面制御に関する研究

Paper図書

森, 勇蔵, 大阪大学1993-1994<Y151-H05452126>

National Diet Library

Subject Headingイオンガン表面改質シリコン薄膜低温成膜

液体窒素温度成膜法による薄膜ヘッド用高飽和磁化軟磁性薄膜の開発

Paper図書

星陽一, 東京工芸大学 [著][星陽一]2001-2003<Y151-H13650357>

National Diet Library

Subject Headingスパッタ / 軟磁性薄膜 / 低電圧スパッタ / 高飽和磁化 / パルススパッタ / 低温成膜 / 純鉄膜 / Fe-Co合金

クリーン金属アークプラズマを用いた高速ドライ配線技術の開発

Paper図書

榊原建樹, 豊橋技術科学大学 [著][榊原建樹]2003-2005<Y151-H15360189>

National Diet Library

Subject HeadingCu配線 / ドライプロセス / 真空アーク蒸着 / 磁気輸送フィルタードアーク / T-FAD / マルチソースガン / プラズマスキャナー / 大面積成膜

固体表面への単分子層修飾と初期成膜の制御

Paper図書

小宮山, 宏, 東京大学1996-1998<Y151-H08405051>

National Diet Library

Subject Heading単分子層修飾初期成膜 CVD TEOS 単原子層酸化トリフルオロトキシ基被覆...

高速原子線を用いたナノ・フアブリケーシヨン・センタの開発

Paper図書

中尾, 政之, 東京大学1996-1997<Y151-H08555064>

National Diet Library

Subject Heading高速原子線除去成膜ペンシル形線源集動マニピユータ

レーザーケミカル反応による硬質炭化ホウ素から成る傾斜機能表面の創成

Paper図書

中本, 剛, 名古屋大学1997-1998<Y151-H09650135>

National Diet Library

Subject Heading炭化ホウ素 YAGレーザーレーザー焼結 X線回析成膜膜硬度造形ビーム描画

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