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絶縁プロ-ブ法によるRF放電プラズマのモニタリングにおける検出感度の改善

Paper図書

出口, 幹雄, 新居浜工業高等専門学校2001-2002<Y151-H13650058>

National Diet Library

Subject HeadingRFプラズマ反応性プラズマプロ-ブモニタリング絶縁プロ-ブ法プ...

PDP用高周波駆動マイクロプラズマセルの開発

Paper図書

真壁, 利明, 慶応義塾大学1997-1999<Y151-H09450146>

National Diet Library

Subject Headingrfプラズマ体積 (サイズ) 効果 RCTモデルプラズマデイスプレイ...

イオンを含む粒子の質量分析法と発光分光時空分解法によるプロセスプラズマの同時診断

Paper図書

伊藤, 秀範, 室蘭工業大学1997-1998<Y151-H09650338>

National Diet Library

Subject Headingプラズマ診断 RFプラズマ発光分光法質量分析法同時診断時空分解イメージインテ...

プロセスプラズマ内の負イオンのカイネテイツクスに関する研究

Paper図書

河野, 明廣, 名古屋大学1993-1994<Y151-H05452187>

National Diet Library

Subject Heading負イオン SF6 NF3 RFプラズマ光脱離マススペクトルマイクロ波空洞共振法電子密度

傾斜機能材料用の超微粒子製造装置の開発

Paper図書

本多, 卓也, 東京工業大学1990-1991<Y151-H02453110>

National Diet Library

Subject Heading傾斜機能材料超微粒子アークプラズマ RFプラズマシミユレーシヨン

プラズマプロセス用大面積プラズマの生成

Paper図書

佐藤, 徳芳, 東北大学1995-1995<Y151-H07044308>

National Diet Library

Subject Heading大口径プラズマ均一プラズマ ECRプラズマ RFプラズママグネトロン型プラズマヘリコン波誘導結合プラズマラジ...

次世代ドライエツチ用,狭ギヤツプVHFエツチヤの物理とプロセス最適制御

Paper図書

真壁, 利明, 慶応義塾大学1993-1994<Y151-H05452106>

National Diet Library

Subject Headingドライエツチングプラズマプロセス狭ギヤツプ・RIE VHPプラズマ非平衡プラズマモデリング微粒子成長 rfプラズマ

低周波50HzプラズマCVD法によるカーボン薄膜の低温形成プロセスの開発

Paper図書

下妻, 光夫, 北海道大学1990-1992<Y151-H02555056>

National Diet Library

Subject Heading低周波プラズマCVD法 CH4+H2混合ガスドライプロセス薄膜堆積アモルフアスカーボン膜ダイヤモンド薄膜半導体低温プロセス RFプラズマCVD法

低周波反応性プラズマのハイブリツド最適制御

Paper図書

真壁, 利明, 慶応義塾大学1988-1989<Y151-S63550220>

National Diet Library

Subject Heading低周波プラズマ反応性プラズマ CH4 H2プラズマ時間、空間分解発光分光分析 RFプラズマのモデリングデポジシヨン炭素薄膜低周波放電構造

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