「"エレクトロマイグレーション"」の検索結果 | NDLサーチ

検索結果 14 件

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20nm技術LSI用Cu配線材料の研究

紙図書

大貫仁, 茨城大学 [著][大貫仁]2005-2007<Y151-H17206071>

国立国会図書館

件名TEG / Cu配線形成 / 硫酸銅純度 / 平均結晶粒径 / 標準偏差 / 分子動力学法 / ナノスクラッチ試験 / エレクトロマイグレーション

ULSI極微細配線におけるGHzエレクトロマイグレ-シヨン耐性限界評価法の確立

紙図書

益, 一哉, 東京工業大学2001-2002<Y151-H13555090>

国立国会図書館

件名集積回路シリコン微細配線エレクトロマイグレ-シヨン高速信号処理伝送線路配線

配線損傷の高精度予測に立脚した電子デバイス長寿命化のための回路設計指針の新規策定

紙図書

笹川和彦, 弘前大学 [著][笹川和彦]2005-2007<Y151-H17360045>

国立国会図書館

件名エレクトロマイグレーション / 半導体集積回路 / 長寿命化 / 微細化 / 高密度実...

金属ナノワイヤーの量子化コンダクタンス状態の電流誘起脆性と合金化による高靭化

紙図書

酒井明, 京都大学 [著][酒井明]2002-2003<Y151-H14340091>

国立国会図書館

件名金属ナノ接点 / 量子化コンダクタンス / 電流誘起脆性 / エレクトロマイグレーション / 単原子接点 / 金合金接点

超LSI信頼性確保を目的とした微細金属薄膜配線の高密度電子流による断線故障予測法

紙図書

笹川和彦, 弘前大学 [著][笹川和彦]2003-2004<Y151-H15560058>

国立国会図書館

件名電子パッケージ / エレクトロマイグレーション / 金属薄膜配線 / 断線故障 / バンブー配線 / 保護...

電子パツケージ薄膜配線の高密度電流による断線寿命および断線箇所の新規予測手法構築

紙図書

笹川, 和彦, 弘前大学1999-2000<Y151-H11555024>

国立国会図書館

件名電子パツケージ金属薄膜配線エレクトロマイグレーシヨン断線予測数値シミユレーシヨン支配パラメータ多結晶配線...

シリコン表面における試料通電効果の反射電子顕微鏡法による研究

紙図書

八木, 克道, 東京工業大学1991-1992<Y151-H03452077>

国立国会図書館

件名エレクトロマイグレーシヨン表面電流効果シリコン表面 Si (111) 相転移

電流と応力による原子マイグレーシヨン競合下のLSI微細配線の破壊機構の解明

紙図書

北村, 隆行, 京都大学1997-1997<Y151-H09450049>

国立国会図書館

件名エレクトロマイグレーシヨンストレスマイグレーシヨン LSI配線破壊機構拡散数値...

走査型TRAXS(全反射角X線分光法)の開発と,それによる表面動的過程の研究

紙図書

長谷川, 修司, 東京大学1998-1999<Y151-H10555007>

国立国会図書館

件名全反射角X線分光法走査電子顕微鏡表面組成分析反射高速電子回折エネルギー分散型X線検出器走査型反射電子顕微鏡エレクトロマイグレーシヨンサーフアクタント・エピタキシー

極微細金属配線における高密度電子流に誘起される方向性原子移動現象の解明及び制御

紙図書

新宮原, 正三, 広島大学1991-1993<Y151-H03555061>

国立国会図書館

件名エレクトロマイグレーシヨン電子顕微鏡その場観察ボイド高磁場ECRスパツタ自己維...

高品質薄膜形成用トロイダルプラズマ式スパツタ装置の開発

紙図書

高橋, 隆一, 富山大学1991-1992<Y151-H03555058>

国立国会図書館

件名トロイダルプラズマプラズマフリースパツタ装置薄膜半導体用電極材料緻密・均一性エレクトロマイグレーシヨンストレスマイグレーシヨン

半導体内部に金属領域を有する超高速集積回路の研究

紙図書

大見, 忠弘, 東北大学1990-1991<Y151-H02402031>

国立国会図書館

件名メタルゲート自己整合MOSFET イオン注入層低温アニール Cu配線技術超高速配線エレクトロマイグレーシヨン低エネルギイオン照射プロセス NON ALLOYING C...

固体表面の格子欠陥の観察とその表面物性との関連の解析

紙図書

大島, 忠平, 早稲田大学1989-1991<Y151-H01420017>

国立国会図書館

件名高分解能エネルギー損失分光走査型LEED顕微鏡走査型トンネル顕微鏡軍原子層グラフアイト Si表面の再配列構造 Si 金属界面の超周期構造 Si上の金属島のエレクトロマイグレーシヨン

シリコンULSIのための薄膜微細配線及び電極に関する研究

デジタル博士論文

柴田, 英毅

インターネットで読める全国の図書館

件名多結晶シリコン高抵抗素子 SRAM ULSI エレクトロマイグレーション Al配線間道微細接援孔

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