検索結果 14 件
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国立国会図書館
- 件名低温プラズマ / プラズマ加工 / 表面・界面 / 高精度加工 / 高分子薄膜 / プラズマエッチング / ナノサイズ加工
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国立国会図書館
- 件名マイクロ・プラズマ ナノスケール・プラズマ マルチプローブ プラズマ環境STM プラズマエツチング
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国立国会図書館
- 件名マグネトロンプラズマ スーパーマグネトロンプラズマ 半導体プロセス プラズマエツチング 低温エツチング クオータミクロンエツチング プラズマプロセ...
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- 目次・記事...ング技術とその動向 1 半導体プラズマエッチングの基礎と発展 1.1 はじめに......2 方向性加工の原理 1.4 プラズマエッチングの発展 1.5 課題と展望 1......イスプロセスへの応用 第3章 プラズマエッチング 1 エッチングに用いられるプ......応 2.1 まえがき 2.2 プラズマエッチングの反応速度 2.3 酸化膜クラ......表面反応 2.5 まとめ 3 プラズマエッチング装置・プロセスにおけるパーティ......・不良発生の検知技術 3.2 プラズマエッチングプロセスにおけるパーティクル ......第4章 プラズマダメージ 1 プラズマエッチングにおけるプラズマダメージ発生機......第5章 シミュレーション 1 プラズマエッチング表面反応の数値シミュレーション 1.2 分子動力学シミュレー...
- 要約等半導体製造で用いられるエッチングに焦点を当て、プラズマエッチング、ウェットエッチング、プラズマダメージ、シミュレーション、原...
- 件名半導体 /エッチング /ドライエッチング /プラズマエッチング /ウェットエッチング /シリコン /異方性 /GaN /陽...
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