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検索結果 84 件

分子認識機能を有するインテリジェント匂いおよび味センサシステムの開発とその応用

分子認識機能を有するインテリジェント匂いおよび味センサシステムの開発とその応用
紙図書
南戸秀仁, 金沢工業大学 [著][南戸秀仁]2004-2006<Y151-H16360208>
国立国会図書館
  • 件名匂いセンサシステム / 分子認識膜 / 濃縮管 / プラズマCVD / 感性

低誘電率・高絶縁耐力プラズマ堆積a-C:F膜による機器絶縁の軽量化と耐電圧向上

低誘電率・高絶縁耐力プラズマ堆積a-C:F膜による機器絶縁の軽量化と耐電圧向上
紙図書
酒井洋輔, 北海道大学 [著][酒井洋輔]2005-2007<Y151-H17360121>
国立国会図書館
  • 件名絶縁膜 / プラズマCVD / パーフルオロカーボン / 低誘電率 / 絶縁耐力 / ...

高性能アモルファスシリコンカーバイド(SiC)の超高速成膜に関する研究

高性能アモルファスシリコンカーバイド(SiC)の超高速成膜に関する研究
紙図書
芳井熊安, 大阪大学 [著][芳井熊安]2001-2003<Y151-H13450058>
国立国会図書館
  • 件名大気圧プラズマCVD / アモルファスSiC / 超高速成膜

複酸化物薄膜のプラズマCVD装置シミユレーシヨンコードの開発

複酸化物薄膜のプラズマCVD装置シミユレーシヨンコードの開発
紙図書
今石, 宣之, 九州大学1999-2001<Y151-H11555208>
国立国会図書館
  • 件名プラズマCVD 複酸化物膜 ニオブ酸リチウム

配向性カーボンナノ構造体の大面積・低温形成と反応ダイナミックス

配向性カーボンナノ構造体の大面積・低温形成と反応ダイナミックス
紙図書
堀勝, 名古屋大学 [著][堀勝]2002-2004<Y151-H14350019>
国立国会図書館
  • 件名カーボンナノチューブ / プラズマCVD / カーボンナノフレーク / ディスプレイ

プラズマCVDおよび大気圧プラズマによるフツ化物ガラス薄膜光導波回路素子の開発

プラズマCVDおよび大気圧プラズマによるフツ化物ガラス薄膜光導波回路素子の開発
紙図書
河本, 洋二, 神戸大学2001-2002<Y151-H13555174>
国立国会図書館
  • 件名ガラス 薄膜 プラズマCVD 大気圧プラズ 光導波回路

ダイヤモンド薄膜中の不対電子の構造の解明とその低減化

ダイヤモンド薄膜中の不対電子の構造の解明とその低減化
紙図書
渡辺, 一郎, 金沢大学2000-2002<Y151-H12650009>
国立国会図書館
  • 件名ダイヤモンド薄膜 欠陥 配向膜 ESR スピン密度 プラズマCVD

LSI内微細銅配線のためのプラズマ異方性CVD

LSI内微細銅配線のためのプラズマ異方性CVD
紙図書
白谷正治, 九州大学 [著][白谷正治]2002-2003<Y151-H14350021>
国立国会図書館
  • 件名銅配線 / プラズマCVD / 異方性成膜 / LSI / 水素原子 / イオン照射

カーボンナノウォールを用いた次世代電子デバイスの開発

カーボンナノウォールを用いた次世代電子デバイスの開発
紙図書
平松美根男, 名城大学 [著][平松美根男]2005-2006<Y151-H17510101>
国立国会図書館
  • 件名カーボンナノウォール / グラファイト / ラジカル注入 / プラズマCVD / 電子放出 / 白金坦持 / 超臨界

ナノ構造の新作製法としてのプラズマ異方性CVD

ナノ構造の新作製法としてのプラズマ異方性CVD
紙図書
白谷正治, 九州大学 [著][白谷正治]2004-2006<Y151-H16360020>
国立国会図書館
  • 件名銅配線 / ルテニウム / プラズマCVD / 異方性製膜 / イオンアシスト製膜 / スパッタリング...

閾値イオン化質量分析診断にもとづく超硬質窒化炭素結晶膜設計指針の確立

閾値イオン化質量分析診断にもとづく超硬質窒化炭素結晶膜設計指針の確立
紙図書
伊藤, 治彦, 長岡技術科学大学1999-2001<Y151-H11650760>
国立国会図書館
  • 件名アモルフアスCN膜 マイクロ波プラズマCVD ECRプラズマCVD CNラジカル 高分解能発光スペクトル プラズマ診断 高周波...

低周波プラズマCVDによる集積回路配線の拡散バリア材としてのTiN膜低温形成

低周波プラズマCVDによる集積回路配線の拡散バリア材としてのTiN膜低温形成
紙図書
下妻, 光夫, 北海道大学1998-1999<Y151-H10650298>
国立国会図書館
  • 件名TiN プラズマCVD 薄膜生成 低周波プラズマ 低周波プラズマCVD 拡散バリア材 薄膜低温形成 集積回路材

非平衡RFプラズマ空間中に浮遊する微粒子の動力学的挙動の解析

非平衡RFプラズマ空間中に浮遊する微粒子の動力学的挙動の解析
紙図書
島田学, 広島大学 [著][島田学]2003-2005<Y151-H15360413>
国立国会図書館
  • 件名プラズマダスト / プロセスプラズマ / 低温プラズマCVD / エアロゾル / 凝集成長 / 荷電 / レーザ光散乱計...

光活性機能アモルファスTiO2薄膜の創成と環境センサーへの応用

光活性機能アモルファスTiO2薄膜の創成と環境センサーへの応用
紙図書
畑中義式, 愛知工科大学 [著][畑中義式]2003-2004<Y151-H15560312>
国立国会図書館
  • 件名酸化チタン / TiO2 / プラズマCVD / 光触媒 / 浄化作用 / 酸素センサー / 環境材料 ...

広パラメータ領域での高気圧プラズマの生成法とその応用

広パラメータ領域での高気圧プラズマの生成法とその応用
紙図書
橘邦英, 京都大学 [著][橘邦英]2003-2004<Y151-H15340198>
国立国会図書館
  • 件名プラズマ表面処理 / 大気圧プラズマ / マイクロプラズマ集積型 / 誘電体バリヤ放電 / プラズマCVD / SiO_2薄膜

人工合成ダイヤモンドを用いたEQCMによるヒューマンセンシング技術

人工合成ダイヤモンドを用いたEQCMによるヒューマンセンシング技術
紙図書
吉原佐知雄, 宇都宮大学 [著][吉原佐知雄]2004-2005<Y151-H16310067>
国立国会図書館
  • 件名ホウ素ドープダイヤモンド / 電気化学QCM / DNA / マイクロ波プラズマCVD / リフロー / アミノ改質 / カルボキシル / L-フ...

表面反応確率計測にもとづく超硬質窒化炭素膜コーティング技術の確立

表面反応確率計測にもとづく超硬質窒化炭素膜コーティング技術の確立
紙図書
伊藤治彦, 長岡技術科学大学 [著][伊藤治彦]2001-2004<Y151-H13555197>
国立国会図書館
  • 件名アモルファスCN膜 / プラズマCVD / CNラジカル / BrCN / Ar準安定原子 / A...

極短パルス電界放出電流によるマイクロ熱加工法の研究

極短パルス電界放出電流によるマイクロ熱加工法の研究
紙図書
平田好則, 大阪大学 [著][平田好則]2002-2004<Y151-H14350387>
国立国会図書館
  • 件名電界放出 / マイクロ熱加工 / SEMその場観察 / カーボンナノチューブ / プラズマCVD / 仕事関数 / 入熱分布 / FNプロット

アモルフアスTiO2薄膜の光活性機能の発現

アモルフアスTiO2薄膜の光活性機能の発現
紙図書
畑中, 義式, 愛知工科大学2001-2002<Y151-H13650010>
国立国会図書館
  • 件名環境物質 TiO2 プラズマCVD ホロカソ-ドプラズマ 光触媒機能 浄化作用 酸素センサ- ...

ECRプラズマCVDによる金属錯体からの光・電気機能性フツ化物非晶質薄膜の開発

ECRプラズマCVDによる金属錯体からの光・電気機能性フツ化物非晶質薄膜の開発
紙図書
河本, 洋二, 神戸大学1997-1999<Y151-H09555191>
国立国会図書館
  • 件名ECRプラズマCVD 金属錯体 フツ化物 非晶質薄膜 光機能 電気機能
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